Secondary electron contrast of doped regions in semiconductor.

Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F02%3A12020139" target="_blank" >RIV/68081731:_____/02:12020139 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Result language
čeština
Original language name
Elektronová spektro-mikroskopie s mnohakanálovou detekcí signálu.
Original language description
Cílem disertace je studium mnohakanálové spektroskopie elektronů (sekundárních, pružně i nepružně odražených a Augerových) v rastrovacím elektronovém mikroskopu, a to s ohledem na různé typy analyzátorů a detektorů a s přihlédnutím k poměru signálu k šumu v detektovaných signálech. Dalším cílem je vytvoření softwaru pro elektronické zpracování obrazu vzorku zprostředkujícího kombinovanou analytickou a mikroskopickou informaci. V experimentální části je jedním z hlavních cílů ověření metodiky na ultravysokovakuovém mikroskopu s pomalými elektrony, který v rámci řešení této disertace bude vybaven paralelním hyperbolickým analyzátorem elektronů.
Czech name
Elektronová spektro-mikroskopie s mnohakanálovou detekcí signálu.
Czech description
—

Project
<a href="/en/project/IAA1065901" target="_blank" >IAA1065901: Wave-optical contrasts in the scanning electron microscope</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Publication year
2002
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Article name in the collection
Sborník prací prezentovaných na Semináři doktorandů oboru Elektronová optika konaném dne 16. 12. 2002.
ISBN
80-238-9915-5
ISSN
—
e-ISSN
—
Number of pages
4
Pages from-to
7-10
Publisher name
Ústav přístrojové techniky AV ČR
Place of publication
Brno
Event location
Brno [CZ]
Event date
Dec 16, 2002
Type of event by nationality
CST - Celostátní akce
UT code for WoS article
—

Similar results(10)