Quantification of detection effectiveness of the detector of secondary electrons in SEM.

Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F02%3A12020144" target="_blank" >RIV/68081731:_____/02:12020144 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Result language
čeština
Original language name
Kvantifikace detekční účinnosti detektoru sekundárních elektronů v REM.
Original language description
Práce se zabývá vypracováním metody umožňující kvantifikaci detekční účinosti detektoru sekundárních elektronů v rastrovacím elektronovém mikroskopu. Cílem je studovat celý proces zpracování signálu od dopadu primárních elektronů na vzorek až po konečnézobrazení na monitoru. Při řešení tématu bude mimo jiné nutné zvládnout statistiku interakce elektronů a fotonů s pevnou látkou, problematiku vzniku šumu a kvantitativní vyhodnocování poměru signálu k šumu zpracovávaného signálu. Po vypracování teoretického modelu celé detekční trasy by měl být navržen experiment a provedena měření na konkrétním detekčním systému.
Czech name
Kvantifikace detekční účinnosti detektoru sekundárních elektronů v REM.
Czech description
—

Publication year
2002
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Article name in the collection
Sborník prací prezentovaných na Semináři doktorandů oboru Elektronová optika konaném dne 16. 12. 2002.
ISBN
80-238-9915-5
ISSN
—
e-ISSN
—
Number of pages
2
Pages from-to
21-22
Publisher name
Ústav přístrojové techniky AV ČR
Place of publication
Brno
Event location
Brno [CZ]
Event date
Dec 16, 2002
Type of event by nationality
CST - Celostátní akce
UT code for WoS article
—

Similar results(10)