Dependence of contrast on pressure using segmental ionization detector in environmental SEM

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F04%3A00109025" target="_blank" >RIV/68081731:_____/04:00109025 - isvavai.cz</a>

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

angličtina

Original language name

Dependence of contrast on pressure using segmental ionization detector in environmental SEM

Original language description

An ionization detector is often used for the detection of signal electrons in environmental scanning electron microscope (ESEM). This detector is based on the principle of signal electron amplification by the process of impact ionization in the specimenchamber with a gaseous environment. The grounded specimen forms one electrode of the parallel electrode detection system. The second electrode is placed above the specimen, and it is connected to the appropriate potential that causes impact ionization ofsecondary electrons. A hole in the upper electrode allows primary electrons to pass to the specimen and this electrode also detects amplified signal electrons

Czech name

Závislost kontrastu na tlaku u segmentového ionizačního detektoru v ESEM

Czech description

Ionizační detektor je používán pro detekci signálních elektronů v environmentálním rastrovacím elektronovém mikroskopu (ESEM). Detektor pracuje na principu zesílení signálních elektronů v procesu nárazové ionizace v plynném prostředí komory vzorku. Uzemněný vzorek vytváří jednu elektrodu paralelního elektrodového detekčního systému. Druhá elektroda je umístěna nad vzorkem a je připojena na vhodný potenciál k dodání ionizační energie sekundárním elektronům. Tato elektroda současně detekuje zesílené signální elektrony

Type

D - Article in proceedings

CEP classification

JA - Electronics and optoelectronics

OECD FORD branch

—

Project

<a href="/en/project/IBS2065107" target="_blank" >IBS2065107: Scanning electron microscopy for research of structure of wet materials</a><br>

Continuities

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Publication year

2004

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Article name in the collection

EMC 2004 - Proceedings of the 13th European Microscopy Congress

ISBN

—

ISSN

—

e-ISSN

—

Number of pages

2

Pages from-to

341-342

Publisher name

Belgian Society for Microscopy

Place of publication

Liege

Event location

Antwerp

Event date

Aug 22, 2004

Type of event by nationality

WRD - Celosvětová akce

UT code for WoS article

—