Very Low Energy Scanning Electron Microscopy

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F04%3A00109042" target="_blank" >RIV/68081731:_____/04:00109042 - isvavai.cz</a>

Alternative codes found

RIV/00216305:26220/04:PU43814

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

angličtina

Original language name

Very Low Energy Scanning Electron Microscopy

Original language description

The largest sample thickness usable for transmission electron microscopy (TEM) is determined by the inelastic and elastic mean free paths (IMFP and EMFP). At primary electron energies normally used for TEM (>50 keV), both the mean free paths decrease asthe primary energy is lowered. Attaining a sufficient penetration through a transmission sample of a given thickness is then simply a question of using a suitably high primary energy. As the primary energy is lowered below about 100 eV, however, IMFP ispredicted to stop decreasing and to begin to grow again. This opens up the exciting possibility of very low voltage TEM, with poorer resolution but greatly reduced radiation damage compared to conventional TEM

Czech name

Rastrovací elektronová mikroskopie pomalými elektrony

Czech description

Největší možná tloušťka vzorku pro prozařovací elektronovou mikroskopii (TEM) je ovlivněna nepružnou a pružnou střední volnou dráhou (IMFP a EMFP). Při energiích běžně používaných v transmisní elektronové mikroskopii (>50 keV), obě střední volné dráhy sesnižují s klesající energií primárního svazku. Proniknout dostatečně vzorkem dané tloušťky je potom pouze otázkou použití dostatečně vysoké energie primárních elektronů. Pokud je energie primárních elektronů snížena pod 100 eV, IMFP se opět zvyšuje. Toto otevírá možnost prozařovací elektronové mikroskopie pomalými elektrony, s nižším rozlišením ale velmi sníženým radiačním poškozením vzorku

Type

D - Article in proceedings

CEP classification

JA - Electronics and optoelectronics

OECD FORD branch

—

Project

<a href="/en/project/KJB2065405" target="_blank" >KJB2065405: Examination of nanostructures by electron beam</a><br>

Continuities

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Publication year

2004

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Article name in the collection

Proceedings of the 9th International Seminar Recent Trends in Charged Particle Optics and Surface Physics Instrumentation

ISBN

80-239-3246-2

ISSN

—

e-ISSN

—

Number of pages

2

Pages from-to

33-34

Publisher name

Institute of Scientific Instruments AS CR

Place of publication

Brno

Event location

Skalský Dvůr

Event date

Jul 12, 2004

Type of event by nationality

WRD - Celosvětová akce

UT code for WoS article

—