New scintillation detector of backscattered electrons lor the low voltage SEM

Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F07%3A00088963" target="_blank" >RIV/68081731:_____/07:00088963 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Result language
angličtina
Original language name
New scintillation detector of backscattered electrons lor the low voltage SEM
Original language description
The new scintillation detector of backscattered electrons that is capable of working at primary beam energy as low as 0.5 keV is introduced. Low energy backscattered electrons are accelerated in order to generate a sufficient number of photons. Secondaryelectrons are deflected back by the energy filter so that the true compositional contrast of the specimen is obtained. The theoretical models of the detector function are described and first demonstration images are presented.
Czech name
Nový scintilační detektor zpětně odražených elektronů pro nízkonapěťovou SEM
Czech description
V článku je představen nový scintilační detektor zpětně odražených elektronů, který je schopen pracovat při nízkých energiích primárního svazku. Nízkoenergiové zpětně odražené elektrony (BSE) jsou urychleny za účelem generování dostatečného množství fotonů ve scintilátoru. Sekundární elektrony jsou filtrovány energiovým filtrem, takže je získáván pravý materiálový kontrast vzorku. Jsou popsány teoretické modely funkce detektoru a prezentovány první demonstrační obrázky.

Type
J<sub>x</sub> - Unclassified - Peer-reviewed scientific article (Jimp, Jsc and Jost)
CEP classification
JA - Electronics and optoelectronics
OECD FORD branch
—

Project
<a href="/en/project/KJB200650501" target="_blank" >KJB200650501: Detection of signal electrons in scaning electron microscopy with low primary beam energies</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Publication year
2007
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Similar results(10)