Computations of the Low Voltage BSE Detector in SEM

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216305%3A26220%2F05%3APU52283" target="_blank" >RIV/00216305:26220/05:PU52283 - isvavai.cz</a>

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

angličtina

Original language name

Computations of the Low Voltage BSE Detector in SEM

Original language description

This paper deals with the possibilities of backscattered electrons detection by scintillation detector in low voltage scanning electron microscope (LV SEM). Low energy of signal electrons, especially backscattered electrons, is the reason of lower detectors yield. While the problem of secondary electrons detection was successfully solved by their extraction using a magnetic field and detection in objective lens, efficient detection of backscattered electrons remains unsolved. The initial energy of backsscattered electrons of 0.7-3 kV is the energy, on which the light yield of scintillators decreases. Backscattered electrons with this energy will be accelerated to scintillator by electrostatic field and secondary electrons with maximal energy of 50 eV will be filtered by an energy filter or by a magnetic field.

Czech name

Výpočet nízkonapěťového BSE detektoru pro rastrovací elektronový mikroskop

Czech description

Práce se zabývá možnostmi detekce zpětně odražených elektronů (BSE) scintilačním detektorem v nízkonapěťové rastrovací elektronové mikroskopii (LV SEM). Nízká energie zpětně odražených elektronů v LV SEM je příčinou nízkého zisku scintilačního detektoru.Pro získání kvalitního BSE obrazu v LV SEM je nutné dodat zpětně odraženým elektronům energii dostatečnou k vybuzení velkého množství scintilací ve scitilátoru.

Type

D - Article in proceedings

CEP classification

JA - Electronics and optoelectronics

OECD FORD branch

—

Project

<a href="/en/project/GA102%2F05%2F0886" target="_blank" >GA102/05/0886: Investigation of the true secondary electrons detection systems in the newly conceived environmental scanning electron microscope</a><br>

Continuities

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Publication year

2005

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Article name in the collection

proceedings of the 11th Conference Student EEICT 2005

ISBN

80-214-2889-9

ISSN

—

e-ISSN

—

Number of pages

4

Pages from-to

337-340

Publisher name

Vysoké učení technické v Brně

Place of publication

Brno

Event location

Brno

Event date

Apr 28, 2005

Type of event by nationality

CST - Celostátní akce

UT code for WoS article

—