Scintillation detector of low energy backscattered electrons
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F06%3A00076203" target="_blank" >RIV/68081731:_____/06:00076203 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
čeština
Original language name
Scintilační detektor nízkoenergiových zpětně odražených elektronů
Original language description
Byl navržen a zkonstruován nový scintilační detektor schopný detekovat zpětně odražené elektrony při energiích primárního svazku 2 keV a nižších v rastrovacím elektronovém mikroskopu. Detektor pracuje na principu urychlení nízkoenergiových zpětně odražených elektronů na energii, při které je ve scintilátoru produkováno dostatečné množství fotonů pro záznam kvalitního obrazu. Sekundární elektrony jsou energiovým filtrem odkláněny od scintilátoru. Vhodným nastavením napětí na energiovém filtru, případně pozice detektoru, lze detektovat také signálovou směs sekundárních a zpětně odražených elektronů nebo samotné sekundární elektrony.
Czech name
Scintilační detektor nízkoenergiových zpětně odražených elektronů
Czech description
Byl navržen a zkonstruován nový scintilační detektor schopný detekovat zpětně odražené elektrony při energiích primárního svazku 2 keV a nižších v rastrovacím elektronovém mikroskopu. Detektor pracuje na principu urychlení nízkoenergiových zpětně odražených elektronů na energii, při které je ve scintilátoru produkováno dostatečné množství fotonů pro záznam kvalitního obrazu. Sekundární elektrony jsou energiovým filtrem odkláněny od scintilátoru. Vhodným nastavením napětí na energiovém filtru, případně pozice detektoru, lze detektovat také signálovou směs sekundárních a zpětně odražených elektronů nebo samotné sekundární elektrony.
Classification
Type
X - Unclassified
CEP classification
JA - Electronics and optoelectronics
OECD FORD branch
—
Result continuities
Project
<a href="/en/project/KJB200650501" target="_blank" >KJB200650501: Detection of signal electrons in scaning electron microscopy with low primary beam energies</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)
Others
Publication year
2006
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů