Signal Processing of Secondary Electron Images in SEM

Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F07%3A00092205" target="_blank" >RIV/68081731:_____/07:00092205 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Result language
angličtina
Original language name
Signal Processing of Secondary Electron Images in SEM
Original language description
Procedure of signal processing in the Everhart-Thornley type of the secondary electron detector in the SEM is analyzed as regards signal statistics, detective quantum efficiency and transport and possible losses of information.
Czech name
Článek charakterizuje způsoby zavedení rastrovací verze LEEM do konvenčního SEM prostřednictvím vložení katodové čočky pod objektiv přístroje. Shrnuty jsou základní vlastnosti rastrovacího LEEMu
Czech description
Proces zpracování signálu v detektoru sekundárních elektronů Everhart-Thornleyho typu v rastrovacím elektronovém mikroskopu je analyzován pokud jde o statistiku signálu, detekční kvantovou účinnost a přenos informace a její případné ztráty.

Project
<a href="/en/project/GA102%2F05%2F2327" target="_blank" >GA102/05/2327: Direct imaging of the dopant distribution in a semiconductor by means of low energy clectrons</a><br>
Continuities
Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Publication year
2007
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Article name in the collection
Proceedings of the 8th Multinational Congress on Microscopy
ISBN
978-80-239-9397-4
ISSN
—
e-ISSN
—
Number of pages
2
Pages from-to
99-100
Publisher name
Czechoslovak Microscopy Society
Place of publication
Prague
Event location
Prague
Event date
Jun 17, 2007
Type of event by nationality
EUR - Evropská akce
UT code for WoS article
—

Similar results(10)