Sputtered coatings of SiNx:H on H2 plasma etched mono-Si substrate

Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F08%3A00324964" target="_blank" >RIV/68081731:_____/08:00324964 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Result language
čeština
Original language name
Naprašované vrstvy SiNx:H s leptáním mono-Si povrchu v plazmatickém H2
Original language description
Příspěvek se zabývá čištěním, aktivací a schopností hydrogenace povrchu monokrystalického křemíku plazmatickým leptáním. Za použití vstupních plynů Ar/H2 je možné na křemíkovém povrchu iniciovat chemické reakce působící podobně, jako je tomu při použitístandardního chemického leptacího roztoku. Proces je kombinován s depozicí vrstev SiNx:H nanášených na povrch leptaný v plasmě.
Czech name
Naprašované vrstvy SiNx:H s leptáním mono-Si povrchu v plazmatickém H2
Czech description
Příspěvek se zabývá čištěním, aktivací a schopností hydrogenace povrchu monokrystalického křemíku plazmatickým leptáním. Za použití vstupních plynů Ar/H2 je možné na křemíkovém povrchu iniciovat chemické reakce působící podobně, jako je tomu při použitístandardního chemického leptacího roztoku. Proces je kombinován s depozicí vrstev SiNx:H nanášených na povrch leptaný v plasmě.

Publication year
2008
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Article name in the collection
Sborník příspěvků ze 3. České fotovoltaické konference
ISBN
978-80-254-3528-1
ISSN
—
e-ISSN
—
Number of pages
6
Pages from-to
—
Publisher name
Czech RE Agency
Place of publication
Rožnov pod Radhoštěm
Event location
Brno
Event date
Nov 3, 2008
Type of event by nationality
CST - Celostátní akce
UT code for WoS article
—

Similar results(10)