Advanced interferometry systems for dimensional measurement in nanometrology

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F15%3A00452397" target="_blank" >RIV/68081731:_____/15:00452397 - isvavai.cz</a>

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

čeština

Original language name

Pokročilé interferometrické systémy pro měření polohy v nanometrologii

Original language description

Preneztujeme zde výsledky společného projektu aplikovaného výzkumu, v němž spolupracují Ústav přístrojové techniky, Akademie věd České republik, v. v. i. a firma Meopta - optika, s.r.o. na společném vývoji vysoce přesných interferometrických systémů prodimenzioální metrologii a nanometrologii. Výzkum využívá přechozích výsledků na poli laserových normálů otpických frekvencí a metodologie interferometrických měření v metrologii délky, detekce a zpracování interferometrických signálů na ÚPT spolu s technologií zpracování otpického skla a výrobou vysoce přesných optických komponentů ve firmě Meopta - optika. Hlavním cílem projetku je návhr komplexního interferometrického měřicího systému ve formě prototypu, který bude sloužit jako váchdisko pro budoucí výrobu. Zvolená koncepce systému představuje modulární rodinu komponentů konfigurovatelnou pro různá uspořádání, zvláště pro víceosá měření v nanotechnologíích a měřeních topografie povrchů. V rámci tohoto projektu jsme vyvinuli kompaktní

Czech name

Pokročilé interferometrické systémy pro měření polohy v nanometrologii

Czech description

Preneztujeme zde výsledky společného projektu aplikovaného výzkumu, v němž spolupracují Ústav přístrojové techniky, Akademie věd České republik, v. v. i. a firma Meopta - optika, s.r.o. na společném vývoji vysoce přesných interferometrických systémů prodimenzioální metrologii a nanometrologii. Výzkum využívá přechozích výsledků na poli laserových normálů otpických frekvencí a metodologie interferometrických měření v metrologii délky, detekce a zpracování interferometrických signálů na ÚPT spolu s technologií zpracování otpického skla a výrobou vysoce přesných optických komponentů ve firmě Meopta - optika. Hlavním cílem projetku je návhr komplexního interferometrického měřicího systému ve formě prototypu, který bude sloužit jako váchdisko pro budoucí výrobu. Zvolená koncepce systému představuje modulární rodinu komponentů konfigurovatelnou pro různá uspořádání, zvláště pro víceosá měření v nanotechnologíích a měřeních topografie povrchů. V rámci tohoto projektu jsme vyvinuli kompaktní

Type

J_x - Unclassified - Peer-reviewed scientific article (Jimp, Jsc and Jost)

CEP classification

BH - Optics, masers and lasers

OECD FORD branch

—

Project

Result was created during the realization of more than one project. More information in the Projects tab.

Continuities

I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace

Publication year

2015

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Name of the periodical

Jemná mechanika a optika

ISSN

0447-6441

e-ISSN

—

Volume of the periodical

60

Issue of the periodical within the volume

1

Country of publishing house

CZ - CZECH REPUBLIC

Number of pages

4

Pages from-to

14-17

UT code for WoS article

—

EID of the result in the Scopus database

—