System for wet etching of Si substrates

Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F17%3A00482541" target="_blank" >RIV/68081731:_____/17:00482541 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Result language
čeština
Original language name
Aparatura pro mokré leptání Si substrátů
Original language description
Zařízení je určeno pro mokré leptání křemíkových substrátů. Vzorek se vloží do jednoho z držáků a ponoří se do chemické lázně, kde je leptán na požadovanou hloubku. Systém vzorkem automaticky otáčí a kontroluje teplotu leptací lázně.
Czech name
Aparatura pro mokré leptání Si substrátů
Czech description
Zařízení je určeno pro mokré leptání křemíkových substrátů. Vzorek se vloží do jednoho z držáků a ponoří se do chemické lázně, kde je leptán na požadovanou hloubku. Systém vzorkem automaticky otáčí a kontroluje teplotu leptací lázně.

Project
Result was created during the realization of more than one project. More information in the Projects tab.
Continuities
I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace

Publication year
2017
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Internal product ID
APL-2017-09
Numerical identification
APL-2017-09
Technical parameters
Funkční vzorek je určen pro mokré leptání Si substrátů. Většina komponent je vyrobena z teflonu, kvůli jeho vysoké chemické odolnosti. Aparatura je vybavena dvěma držáky substrátu. Jeden slouží pro leptání pouze jedné strany vzorku a druhý umožňuje leptat z obou stran. Pro dosažení dobré homogenity leptání je systém vybaven elektrickým pohonem vzorku. Aby nedošlo k nechtěnému poškození elektromotoru nebo vzorku, točivý moment přenáší třecí spojka. Řízení systému zajišťuje ovládací panel, který umožňuje regulovat otáčky elektromotoru a měřit teplotu leptací lázně v reálném čase.
Economical parameters
Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu s předpokladem smluvního využití s ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Ing. Tadeáš Maňka, manka@isibrno.cz
Application category by cost
—
Owner IČO
68081731
Owner name
Ústav přístrojové techniky AV ČR, v.v
Owner country
CZ - CZECH REPUBLIC
Usage type
P - Využití výsledku jiným subjektem je v některých případech možné bez nabytí licence
Licence fee requirement
Z - Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje v některých případech licenční poplatek
Web page
—

Similar results(10)