Spectroscopic system for deep reactive ion etching system

Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F18%3A00499077" target="_blank" >RIV/68081731:_____/18:00499077 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Result language
čeština
Original language name
Spektroskopický systém pro systém hlubokého reaktivního leptání
Original language description
Zařízení je určeno pro měření spektrální odezvy substrátu v systému hlubokého reaktivního leptání. Měřící systém nám umožňuje monitorovat chemické složení plazmového výboje v komoře, čímž nám umožňuje zastavit leptací proces po dosažení určité hloubky leptu a tím zpřesnit výrobu mikro a nanostruktur.
Czech name
Spektroskopický systém pro systém hlubokého reaktivního leptání
Czech description
Zařízení je určeno pro měření spektrální odezvy substrátu v systému hlubokého reaktivního leptání. Měřící systém nám umožňuje monitorovat chemické složení plazmového výboje v komoře, čímž nám umožňuje zastavit leptací proces po dosažení určité hloubky leptu a tím zpřesnit výrobu mikro a nanostruktur.

Project
<a href="/en/project/LO1212" target="_blank" >LO1212: ALISI - Centre of advanced diagnostic methods and technologies</a><br>
Continuities
I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace

Publication year
2018
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Internal product ID
APL-2018-16
Numerical identification
APL-2018-16
Technical parameters
Měřící systém slouží pro měření spektrální odezvy substrátu v systému hlubokého iontového reaktivního leptání. Systém je vybaven multimodovým optickým vláknem pro sběr signálu z plazmové komory, precizní optomechanickou částí pro rozklad signálu do spektrální oblasti. K detekci signálu je použit citlivý řádkový senzor. Ke zpracování měřených dat je využita mikroprocesorová jednotka s USB připojením ovládána programem v jazyce Python. Konstrukce je složena z tříosých kinematických držáků optických komponent (kolimátoru, koutových odražečů, děliče svazku a detekční jednotky). Nastavení optomechanických komponent je provedeno kinematickými závěsy s precizním nastavením. Pro minimalizaci teplotní roztažnosti je celá sestava vyrobena z duralové slitiny.
Economical parameters
Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu s předpokladem smluvního využití s ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Bc. Lukáš Šilhan, silhan@isibrno.cz
Application category by cost
—
Owner IČO
68081731
Owner name
Ústav přístrojové techniky AV ČR, v.v
Owner country
CZ - CZECH REPUBLIC
Usage type
N - Využití výsledku jiným subjektem je možné bez nabytí licence (výsledek není licencován)
Licence fee requirement
—
Web page
—

Similar results(10)