Purity control of optical crystal surfaces
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F20%3A00540116" target="_blank" >RIV/68081731:_____/20:00540116 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
čeština
Original language name
Kontrola čistoty povrchů optických krystalů
Original language description
Byly provedeny analýzy povrchů optických krystalů. Kromě analýzy standardně čištěných povrchů byl testován efekt iontového čištění krystalů, který se provádí před depozicí optických vrstev. Na takto čištěných površích bylo možné identifikovat výraznou kontaminaci wolframem. Wolframové ionty se pravděpodobně vytváří ve zdroji argonových iontů a nežádoucím způsobem se implantují do povrchu krystalu. Byly použity metody SIMS a LEIS, jejichž efektivita byla ověřena. Poté byly tyto metody implementovány do Technologie kontroly čistoty povrchů optických krystalů, což se v Cryturu stalo součástí procesu monitorování výroby.
Czech name
Kontrola čistoty povrchů optických krystalů
Czech description
Byly provedeny analýzy povrchů optických krystalů. Kromě analýzy standardně čištěných povrchů byl testován efekt iontového čištění krystalů, který se provádí před depozicí optických vrstev. Na takto čištěných površích bylo možné identifikovat výraznou kontaminaci wolframem. Wolframové ionty se pravděpodobně vytváří ve zdroji argonových iontů a nežádoucím způsobem se implantují do povrchu krystalu. Byly použity metody SIMS a LEIS, jejichž efektivita byla ověřena. Poté byly tyto metody implementovány do Technologie kontroly čistoty povrchů optických krystalů, což se v Cryturu stalo součástí procesu monitorování výroby.
Classification
Type
O - Miscellaneous
CEP classification
—
OECD FORD branch
20201 - Electrical and electronic engineering
Result continuities
Project
<a href="/en/project/TN01000008" target="_blank" >TN01000008: Center of electron and photonic optics</a><br>
Continuities
I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace
Others
Publication year
2020
Confidentiality
C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.