Si3Nx phase plates

Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F21%3A00550697" target="_blank" >RIV/68081731:_____/21:00550697 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Result language
čeština
Original language name
Si3Nx fázová destička
Original language description
Fázová destička z nitridu křemíku slouží ke změně fáze procházejících vysokoenergetických elektronů. Nosným substrátem tenké membrány je křemíkový čip připevněný na platinovou nebo zlatou clonku, která zároveň odstiňuje nežádoucí elektrony. Ve středu membrány je vytvořený otvor (pomocí technologie FIB/SEM), tak abychom zajistili, že nulový difrakční řád projde fázovou destičkou bez změny fáze.
Czech name
Si3Nx fázová destička
Czech description
Fázová destička z nitridu křemíku slouží ke změně fáze procházejících vysokoenergetických elektronů. Nosným substrátem tenké membrány je křemíkový čip připevněný na platinovou nebo zlatou clonku, která zároveň odstiňuje nežádoucí elektrony. Ve středu membrány je vytvořený otvor (pomocí technologie FIB/SEM), tak abychom zajistili, že nulový difrakční řád projde fázovou destičkou bez změny fáze.

Project
<a href="/en/project/TN01000008" target="_blank" >TN01000008: Center of electron and photonic optics</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Publication year
2021
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Internal product ID
APL-2021-05
Numerical identification
APL-2021-05
Technical parameters
Křemíkový čip nesoucí tenkou nitridovou membránu. Rozměr (Okénko v křemíkovém čipu) membrány je čtvercového tvaru o rozměru 100×100 µm. Tloušťka membrány je optimalizovaná tak, aby v posouvala fázi procházejícího svazku o pi/2. Čip je upevněný na platinové clonce o průměru 3 mm a ve středu clonky je malý otvor o rozměrech v jednotkách µm, který byl vytvořen pomoci FIB/SEM, tak aby odpovídal velikosti nultého řádu difrakce v zadní objektivové rovině.
Economical parameters
Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu, s předpokladem smluvního využití s vědeckým a ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Mgr. Tomáš Radlička, Ph.D., radlicka@isibrno.cz.
Application category by cost
—
Owner IČO
68081731
Owner name
Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i., ThermoFisher Scientific Brno, s.r.o.
Owner country
CZ - CZECH REPUBLIC
Usage type
V - Výsledek je využíván vlastníkem
Licence fee requirement
—
Web page
—

Similar results(10)