Modified holder for standard silicon nitride membranes for Elstar SEM tube

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F22%3A00566202" target="_blank" >RIV/68081731:_____/22:00566202 - isvavai.cz</a>

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

čeština

Original language name

Modifikovaný držák standardních silikon-nitridových membrán pro tubus Elstar

Original language description

Jednou z metod tvarování svazku v elektronovém mikroskopu je difrakce či fázová modulace elektronové vlny prvkem, který se umístí do tubusu mikroskopu. Často to bývají difrakční mřížky nebo fázové destičky specifických parametrů. Ukazuje se, že pro výrobu těchto struktur je vhodným materiálem silikon-nitrid (Si3N4), který se běžně využívá v prozařovací elektronové mikroskopii jako substrát pro vzorek. Ten je snadno komerčně dostupný ve vyhovující kvalitě. Standardní velikost křemíkové destičky (čipu) s membránou je kruh o průměru 3 mm a tloušťce cca 0.2 mm. Naproti tomu čip se sadou apertur, která se standardně využívá v tubusu Elstar, má obdélníkový tvar cca 9 x 3 mm, čemuž odpovídá design držáku. Výroba membrán tohoto tvaru je zbytečně náročná a zdlouhavá. Aby bylo možné dostupnosti a kvality komerčních membrán s výhodou využít, je třeba držák modifikovat tak, aby jeho tvar umožnil umístění několika těchto čipů a jejich základní manipulaci. Výsledkem vývoje je plně funkční držák, který umožní upevnění tří standardních silikon-nitridových membrán a jejich umístění do požadované polohy v tubusu Elstar. Držák lze dále snadno upravit pro využití v jiných typech tubusu.

Czech name

Modifikovaný držák standardních silikon-nitridových membrán pro tubus Elstar

Czech description

Jednou z metod tvarování svazku v elektronovém mikroskopu je difrakce či fázová modulace elektronové vlny prvkem, který se umístí do tubusu mikroskopu. Často to bývají difrakční mřížky nebo fázové destičky specifických parametrů. Ukazuje se, že pro výrobu těchto struktur je vhodným materiálem silikon-nitrid (Si3N4), který se běžně využívá v prozařovací elektronové mikroskopii jako substrát pro vzorek. Ten je snadno komerčně dostupný ve vyhovující kvalitě. Standardní velikost křemíkové destičky (čipu) s membránou je kruh o průměru 3 mm a tloušťce cca 0.2 mm. Naproti tomu čip se sadou apertur, která se standardně využívá v tubusu Elstar, má obdélníkový tvar cca 9 x 3 mm, čemuž odpovídá design držáku. Výroba membrán tohoto tvaru je zbytečně náročná a zdlouhavá. Aby bylo možné dostupnosti a kvality komerčních membrán s výhodou využít, je třeba držák modifikovat tak, aby jeho tvar umožnil umístění několika těchto čipů a jejich základní manipulaci. Výsledkem vývoje je plně funkční držák, který umožní upevnění tří standardních silikon-nitridových membrán a jejich umístění do požadované polohy v tubusu Elstar. Držák lze dále snadno upravit pro využití v jiných typech tubusu.

Type

G_funk - Functional sample

CEP classification

—

OECD FORD branch

20201 - Electrical and electronic engineering

Project

<a href="/en/project/TN01000008" target="_blank" >TN01000008: Center of electron and photonic optics</a><br>

Continuities

I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace

Publication year

2022

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Internal product ID

APL-2022-14

Numerical identification

TN01000008-10-V6

Technical parameters

Původní tyč držáku aperturního stripu je opatřena prodloužením o délce cca 45 mm tak, aby silikon-nitridové membrány mohly být umístěny do optické osy tubusu elektronového mikroskopu. Původní zakončení tyče je nahrazeno novým lůžkem na clonky, které je vybaveno třemi kapsami pro umístění membrán standardních rozměrů – kruhový křemíkový čip o průměru cca 3 mm a tloušťce cca 0.2 mm. Kapsy jsou dále vybaveny manipulačními drážkami, které umožňují bezpečné uchopení čipů do pinzety. Krycí plech o tloušťce 0.2 mm upevněný dvěma šrouby zajistí pevné uchycení membrán, zabraňuje jejich nežádoucímu pohybu, přičemž otvory v plechu odpovídají standardizovaným pozicím clon. To umožňuje volbu pozice pomocí manipulačního mechanismu držáku.

Economical parameters

Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu, s předpokladem vědeckého využití s vědeckým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Mgr. Tomáš Řiháček, Ph.D.

Application category by cost

—

Owner IČO

68081731

Owner name

Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.

Owner country

CZ - CZECH REPUBLIC

Usage type

V - Výsledek je využíván vlastníkem

Licence fee requirement

—

Web page

—