Manipulator with micrometric shift for a miniaturised secondary electron spectrometer
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F21%3A00550826" target="_blank" >RIV/68081731:_____/21:00550826 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
čeština
Original language name
Manipulátor s mikrometrickým posuvem pro miniaturizovaný spektrometr sekundárních elektronů
Original language description
Manipulátor je součástí pozorovací komory miniaturizovaného spektrometru sekundárních elektronů, tak aby díky němu nebyla omezena zkoumaná oblast polovodičového vzorku na velikost aktuálního zorného pole elektronového mikroskopu. Je tak možné mapovat velké plochy dopovaných struktur na vzorku a rovněž zacílit oblast zájmu pod primární svazek elektronů.
Czech name
Manipulátor s mikrometrickým posuvem pro miniaturizovaný spektrometr sekundárních elektronů
Czech description
Manipulátor je součástí pozorovací komory miniaturizovaného spektrometru sekundárních elektronů, tak aby díky němu nebyla omezena zkoumaná oblast polovodičového vzorku na velikost aktuálního zorného pole elektronového mikroskopu. Je tak možné mapovat velké plochy dopovaných struktur na vzorku a rovněž zacílit oblast zájmu pod primární svazek elektronů.
Classification
Type
G<sub>funk</sub> - Functional sample
CEP classification
—
OECD FORD branch
20501 - Materials engineering
Result continuities
Project
<a href="/en/project/TN01000008" target="_blank" >TN01000008: Center of electron and photonic optics</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Others
Publication year
2021
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data specific for result type
Internal product ID
APL-2021-06
Numerical identification
APL-2021-06
Technical parameters
Manipulátor držáku vzorku tvaru pravidelného osmihranu, kde pojezdy jsou realizovány formou tří bronzových pružin. Ty svírají mezi sebou úhel 120°, přičemž umožňují posun v rozsahu +- 1mm s přesností 10μm v každé ose nezávisle.
Economical parameters
Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu, s předpokladem smluvního využití s vědeckým a ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Ing. Filip Mika, Ph.D., fumici@isibrno.cz.
Application category by cost
—
Owner IČO
68081731
Owner name
Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
Owner country
CZ - CZECH REPUBLIC
Usage type
O - Doposud nevyužívaný výsledek
Licence fee requirement
—
Web page
—