Laser system 267 nm
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F23%3A00579449" target="_blank" >RIV/68081731:_____/23:00579449 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
čeština
Original language name
Laserový systém 267 nm
Original language description
Vyvinutý UV laserový zdroj s výstupní vlnovou délkou 267 nm je určený jako zdroj záření k metrologickým metodám kontroly kvality pro optickou výrobu prvků pro litografii s krátkými vlnovými délkami. Zdroj se skládá z IR čerpacího optovláknového úzkopásmového laseru, optovláknového zesilovače, první jednotky pro násobení optického kmitočtu ve waveguide provedení a druhé jednotky pro optické násobení s optickým rezonátorem a integrovaným násobícím nelineárním krystalem. Koherentní zdroj dosahuje výstupního optického výkonu > 10 mW kontinuálního záření na vlnové délce 267 nm, spektrální šířka čáry laseru je < 100 kHz.
Czech name
Laserový systém 267 nm
Czech description
Vyvinutý UV laserový zdroj s výstupní vlnovou délkou 267 nm je určený jako zdroj záření k metrologickým metodám kontroly kvality pro optickou výrobu prvků pro litografii s krátkými vlnovými délkami. Zdroj se skládá z IR čerpacího optovláknového úzkopásmového laseru, optovláknového zesilovače, první jednotky pro násobení optického kmitočtu ve waveguide provedení a druhé jednotky pro optické násobení s optickým rezonátorem a integrovaným násobícím nelineárním krystalem. Koherentní zdroj dosahuje výstupního optického výkonu > 10 mW kontinuálního záření na vlnové délce 267 nm, spektrální šířka čáry laseru je < 100 kHz.
Classification
Type
G<sub>funk</sub> - Functional sample
CEP classification
—
OECD FORD branch
10306 - Optics (including laser optics and quantum optics)
Result continuities
Project
<a href="/en/project/FW03010232" target="_blank" >FW03010232: Laser sources and optical systems metrology in DUV spectral range</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Others
Publication year
2023
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data specific for result type
Internal product ID
APL-2023-05
Numerical identification
APL-2023-05
Technical parameters
Systém generuje kontinuální laserový svazek s vlnovou délkou 267 nm a výstupním optickým výkonem > 10 mW. Optický výstup ze systému je realizován ve volné optice. Spektrální šířka čáry výstupního svazku je < 100 kHz.
Economical parameters
Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu, s předpokladem smluvního využití s vědeckým a ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Ing. Jan Hrabina, Ph.D., shane@isibrno.cz.
Application category by cost
—
Owner IČO
68081731
Owner name
Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
Owner country
CZ - CZECH REPUBLIC
Usage type
O - Doposud nevyužívaný výsledek
Licence fee requirement
—
Web page
—