Laser system 213 nm

Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F24%3A00603688" target="_blank" >RIV/68081731:_____/24:00603688 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Result language
čeština
Original language name
Laserový zdroj 213 nm
Original language description
Vyvinutý UV laserový zdroj s výstupní vlnovou délkou 213 nm je určený jako zdroj záření k metrologickým metodám kontroly kvality pro optickou výrobu prvků pro litografii s krátkými vlnovými délkami. Zdroj se skládá z čerpacího diodového úzkopásmového laseru pracujícího v kontinuálním režimu a s jednomodovým provozem, a z jednotky pro násobení optického kmitočtu s nelineárním krystalem umístěným v optickém rezonátoru. Koherentní zdroj dosahuje výstupního optického výkonu > 100 uW kontinuálního záření na vlnové délce 213 nm, spektrální šířka čáry laseru je < 2 MHz.
Czech name
Laserový zdroj 213 nm
Czech description
Vyvinutý UV laserový zdroj s výstupní vlnovou délkou 213 nm je určený jako zdroj záření k metrologickým metodám kontroly kvality pro optickou výrobu prvků pro litografii s krátkými vlnovými délkami. Zdroj se skládá z čerpacího diodového úzkopásmového laseru pracujícího v kontinuálním režimu a s jednomodovým provozem, a z jednotky pro násobení optického kmitočtu s nelineárním krystalem umístěným v optickém rezonátoru. Koherentní zdroj dosahuje výstupního optického výkonu > 100 uW kontinuálního záření na vlnové délce 213 nm, spektrální šířka čáry laseru je < 2 MHz.

Project
<a href="/en/project/FW03010232" target="_blank" >FW03010232: Laser sources and optical systems metrology in DUV spectral range</a><br>
Continuities
I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace

Publication year
2024
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Internal product ID
APL-2024-14
Numerical identification
—
Technical parameters
Systém generuje kontinuální laserový svazek s vlnovou délkou 213 nm a výstupním optickým výkonem > 100 uW. Optický výstup ze systému je realizován ve volné optice. Spektrální šířka čáry výstupního svazku je < 2 MHz.
Economical parameters
Funkční vzorek realizovaný při řešení grantu, s předpokladem smluvního využití s vědeckým a ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Ing. Jan Hrabina, Ph.D., hrabina@isibrno.cz.
Application category by cost
—
Owner IČO
68081731
Owner name
Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
Owner country
CZ - CZECH REPUBLIC
Usage type
O - Doposud nevyužívaný výsledek
Licence fee requirement
—
Web page
—

Similar results(10)