Calibration standard with micro relief calibration structure recorded in a thin layer

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F24%3A00575340" target="_blank" >RIV/68081731:_____/24:00575340 - isvavai.cz</a>

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

čeština

Original language name

Kalibrační standard s mikro reliéfní kalibrační strukturou zaznamenané v tenké vrstvě

Original language description

Vzorek, obsahující sadu kalibračních obrazců a periodických mřížek. Design kalibračních struktur je připraven na základě funkčních potřeb pro metrologické a kalibrační operace. Při návrhu byl brán ohled také na možností litografických technik a dalších technologických operacích, které byly pro přípravu kalibračního preparátu vyvíjeny. Funkční vzorek má formu křemíkového čipu a obsahuje binární strukturu realizovanou v tenké vrstvě připravenou pomocí elektronové litografie a depoziční technikou (PVD). Součástí je dokumentace popisující design kalibračních struktur a obrazové podklady obsahující výstupy z měření vzorku na AFM, SEM a konfokálním mikroskopu.

Czech name

Kalibrační standard s mikro reliéfní kalibrační strukturou zaznamenané v tenké vrstvě

Czech description

Vzorek, obsahující sadu kalibračních obrazců a periodických mřížek. Design kalibračních struktur je připraven na základě funkčních potřeb pro metrologické a kalibrační operace. Při návrhu byl brán ohled také na možností litografických technik a dalších technologických operacích, které byly pro přípravu kalibračního preparátu vyvíjeny. Funkční vzorek má formu křemíkového čipu a obsahuje binární strukturu realizovanou v tenké vrstvě připravenou pomocí elektronové litografie a depoziční technikou (PVD). Součástí je dokumentace popisující design kalibračních struktur a obrazové podklady obsahující výstupy z měření vzorku na AFM, SEM a konfokálním mikroskopu.

Type

G_funk - Functional sample

CEP classification

—

OECD FORD branch

10306 - Optics (including laser optics and quantum optics)

Project

<a href="/en/project/FW03010504" target="_blank" >FW03010504: Development of in-situ techniques for characterization of materials and nanostructures</a><br>

Continuities

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Publication year

2024

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Internal product ID

APL-2024-01

Numerical identification

—

Technical parameters

Křemíkový čip rozměru 10 mm x 10 mm obsahující motiv kalibračních vzorů (s mikronovým a submikronovým rozlišením) vytvořených v tenké vrstvě feromagnetického materiálu naneseného pomocí PVD techniky.

Economical parameters

Funkční vzorek vyvinutý během řešení projektu s předpokladem smluvního využití s vědeckým a ekonomickým přínosem i po jeho ukončení. Kontakt: Ing. Milan Matějka, Ph.D., mmatejka@isibrno.cz

Application category by cost

—

Owner IČO

68081731

Owner name

Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.

Owner country

CZ - CZECH REPUBLIC

Usage type

V - Výsledek je využíván vlastníkem

Licence fee requirement

—

Web page

—