DUV ultrafast laser processing of quartz glass
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68081731%3A_____%2F25%3A00647664" target="_blank" >RIV/68081731:_____/25:00647664 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
čeština
Original language name
Obrábění křemenného skla DUV ultrarychlým laserem
Original language description
Křemenné sklo je materiál s uplatněním v celé řadě aplikací, mimo jiné i v (mikro) optice a mikrofluidice. Jednou z možností pro zvýšení detailnosti a přesnosti laserového obrábění je použití kratších vlnových délek, které umožňuje zmenšení ohniska a obvykle také zvyšují absorpci v materiálu. Tato práce studovala vliv procesních parametrů na kvalitu obrobeného povrchu a také na rychlost úběru materiálu DUV ultrarychlým laserem (257 nm, ~1 ps). Dosažena byla drsnost až Sa ≈ 200 nm a úběr materiálu 0,048 mm³∙min-1. Popsány byly i parametry vedoucí k degradaci povrchu. Pomocí zjištěných parametrů byl vytvořen demonstrátor mikro fluidického čipu potvrzující možnost uplatnění procesu pro výrobu vysoce detailních dílů.
Czech name
Obrábění křemenného skla DUV ultrarychlým laserem
Czech description
Křemenné sklo je materiál s uplatněním v celé řadě aplikací, mimo jiné i v (mikro) optice a mikrofluidice. Jednou z možností pro zvýšení detailnosti a přesnosti laserového obrábění je použití kratších vlnových délek, které umožňuje zmenšení ohniska a obvykle také zvyšují absorpci v materiálu. Tato práce studovala vliv procesních parametrů na kvalitu obrobeného povrchu a také na rychlost úběru materiálu DUV ultrarychlým laserem (257 nm, ~1 ps). Dosažena byla drsnost až Sa ≈ 200 nm a úběr materiálu 0,048 mm³∙min-1. Popsány byly i parametry vedoucí k degradaci povrchu. Pomocí zjištěných parametrů byl vytvořen demonstrátor mikro fluidického čipu potvrzující možnost uplatnění procesu pro výrobu vysoce detailních dílů.
Classification
Type
D - Article in proceedings
CEP classification
—
OECD FORD branch
10306 - Optics (including laser optics and quantum optics)
Result continuities
Project
<a href="/en/project/TN02000020" target="_blank" >TN02000020: Centre of Advanced Electron and Photonic Optics</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Others
Publication year
2025
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data specific for result type
Article name in the collection
LA65. Sborník příspěvků multioborové konference LASER65
ISBN
978-80-87441-37-4
ISSN
—
e-ISSN
—
Number of pages
5
Pages from-to
81-85
Publisher name
Ústav přístrojové techniky AV ČR
Place of publication
Brno
Event location
Kurdějov
Event date
Nov 19, 2025
Type of event by nationality
EUR - Evropská akce
UT code for WoS article
—