Light collector for air fluorescence as well as for scattering by wafer contaminants

Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F04%3A00021103" target="_blank" >RIV/68378271:_____/04:00021103 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Result language
angličtina
Original language name
Light collector for air fluorescence as well as for scattering by wafer contaminants
Original language description
Air fluorescence is defined as photons produced by charged particles in the air. The excited molecules emit light in the near UV and in the visible region between 300 nm and 400 nm. The simple light collection system for laboratory analysis of the fluorescence signal is presened. The optical layout of Surfscan 4500 (KLA-Tencor) is described and very high similarity between it and fluorescence colection system is shown.
Czech name
Světelný kolektor pro vzdušnou fluorescenci a také pro rozptyl záření na nečistotách křemíkových desek
Czech description
Vzdušná fluorescence je definována počtem fotonů produkovaných nabitými částicemi vzduchu. Je zde prezentován jednoduchý světelný kolektor pro laboratorní analýzu tohoto fluorescenčního signálu. Na příkladu systému Surfscan 4500 (KLA-Tencor) je ukázána podobnost mezi jeho kolektivním systémem a kolektivním systémem pro fluorescenci.

Project
Result was created during the realization of more than one project. More information in the Projects tab.
Continuities
Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Publication year
2004
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Article name in the collection
SILICON 2004: The Ninth Scientific and Business Conference
ISBN
—
ISSN
—
e-ISSN
—
Number of pages
11
Pages from-to
213-223
Publisher name
TECON Scientific
Place of publication
Rožnov pod Radhoštěm
Event location
Rožnov pod Radhoštěm
Event date
Nov 2, 2004
Type of event by nationality
EUR - Evropská akce
UT code for WoS article
—

Similar results(10)