Investigation of the low temperature atmospheric deposition of TCO thin films on polymer substrates

Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F04%3A00100165" target="_blank" >RIV/68378271:_____/04:00100165 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Result language
angličtina
Original language name
Investigation of the low temperature atmospheric deposition of TCO thin films on polymer substrates
Original language description
Atmospheric barrier-torch discharge was used for low temperature deposition of thin conductive oxide thin films on polymer substrates. An atmospheric high-density plasma jet was excited at the outlet of the quartz nozzle with an external metallic ring electrode. InxOy and SnOx transparent and conductive films were deposited on polymer, quartz and silicon substrates by this technique
Czech name
Studium nízkoteplotního atmosférického zdroje plazmatu pro depozici TCO tenkých vrstev na polymerní substráty
Czech description
Atmosférický bariérový-pochodňový výboj byl použit pro nízkoteplotní depozici tenkých a vodivých oxidových vrstev na polymerní substráty. Plazmatický kanál s vysokou koncentrací nabitých částic byl vybuzen na výstupu křemenné trysky obalené kovovou elektrodou. Průhledné a vodivé tenké vrstvy InxOy a SnOx byly připraveny na polymerní, křemenné a křemíkové substráty pomocí této technologie

Type
J<sub>x</sub> - Unclassified - Peer-reviewed scientific article (Jimp, Jsc and Jost)
CEP classification
BM - Solid-state physics and magnetism
OECD FORD branch
—

Project
<a href="/en/project/IBS1010203" target="_blank" >IBS1010203: New low temperature plasmatic technologies of thin films deposition at atmospheric pressure</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Publication year
2004
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Similar results(10)