Micromaching of organic polymers by direct photo-etching using a laser plasma X-ray source
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F04%3A00100716" target="_blank" >RIV/68378271:_____/04:00100716 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
angličtina
Original language name
Micromaching of organic polymers by direct photo-etching using a laser plasma X-ray source
Original language description
The first experiments on direct photo-etching of organic polymers using a laser plasma X-ray source based on a laser-irradiated gas puff target are presented. The results show relatively high efficiency of X-ray direct photo-etching that could be used for micromaching of organic polymers
Czech name
Mikrostrukturování povrchu organických polymerů přímým fotoleptáním s využitím laserového plazmatu jako rtg zdroje
Czech description
Bylo demonstrováno přímé mikrostrukturovaní organických polymerů rentgenovým zářením z laserového plazmatu v plynové trysce. Výsledky ukazují relativně vysokou účinnost ablace rentgenovým zářením a její použitelnost pro strukturování organických polymerů
Classification
Type
J<sub>x</sub> - Unclassified - Peer-reviewed scientific article (Jimp, Jsc and Jost)
CEP classification
BH - Optics, masers and lasers
OECD FORD branch
—
Result continuities
Project
<a href="/en/project/KSK2043105" target="_blank" >KSK2043105: Processes in Plasmas and Interactions of Radiation with Matter</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Others
Publication year
2004
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data specific for result type
Name of the periodical
Microelectronic Engineering
ISSN
0167-9317
e-ISSN
—
Volume of the periodical
73-74
Issue of the periodical within the volume
-
Country of publishing house
NL - THE KINGDOM OF THE NETHERLANDS
Number of pages
4
Pages from-to
336-339
UT code for WoS article
—
EID of the result in the Scopus database
—