All

What are you looking for?

All
Projects
Results
Organizations

Quick search

  • Projects supported by TA ČR
  • Excellent projects
  • Projects with the highest public support
  • Current projects

Smart search

  • That is how I find a specific +word
  • That is how I leave the -word out of the results
  • “That is how I can find the whole phrase”

Micromaching of organic polymers by direct photo-etching using a laser plasma X-ray source

The result's identifiers

  • Result code in IS VaVaI

    <a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F04%3A00100716" target="_blank" >RIV/68378271:_____/04:00100716 - isvavai.cz</a>

  • Result on the web

  • DOI - Digital Object Identifier

Alternative languages

  • Result language

    angličtina

  • Original language name

    Micromaching of organic polymers by direct photo-etching using a laser plasma X-ray source

  • Original language description

    The first experiments on direct photo-etching of organic polymers using a laser plasma X-ray source based on a laser-irradiated gas puff target are presented. The results show relatively high efficiency of X-ray direct photo-etching that could be used for micromaching of organic polymers

  • Czech name

    Mikrostrukturování povrchu organických polymerů přímým fotoleptáním s využitím laserového plazmatu jako rtg zdroje

  • Czech description

    Bylo demonstrováno přímé mikrostrukturovaní organických polymerů rentgenovým zářením z laserového plazmatu v plynové trysce. Výsledky ukazují relativně vysokou účinnost ablace rentgenovým zářením a její použitelnost pro strukturování organických polymerů

Classification

  • Type

    J<sub>x</sub> - Unclassified - Peer-reviewed scientific article (Jimp, Jsc and Jost)

  • CEP classification

    BH - Optics, masers and lasers

  • OECD FORD branch

Result continuities

  • Project

    <a href="/en/project/KSK2043105" target="_blank" >KSK2043105: Processes in Plasmas and Interactions of Radiation with Matter</a><br>

  • Continuities

    P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Others

  • Publication year

    2004

  • Confidentiality

    S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Data specific for result type

  • Name of the periodical

    Microelectronic Engineering

  • ISSN

    0167-9317

  • e-ISSN

  • Volume of the periodical

    73-74

  • Issue of the periodical within the volume

    -

  • Country of publishing house

    NL - THE KINGDOM OF THE NETHERLANDS

  • Number of pages

    4

  • Pages from-to

    336-339

  • UT code for WoS article

  • EID of the result in the Scopus database