Micromachining of organic polymers by X-ray photo-etching using a 10Hz laser-plasma radiation sourse
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F05%3A00025861" target="_blank" >RIV/68378271:_____/05:00025861 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
angličtina
Original language name
Micromachining of organic polymers by X-ray photo-etching using a 10Hz laser-plasma radiation sourse
Original language description
The first resulty of experiments on direct photo-etching of organic polymers using a 10 Hz X-ray source based on a laser-irradiated gas puff target are presented. X-ray radiation in the wavelength range from 2 to 15 nm was produced as a result of irradiation of a double-stream gas puff target with Nd:YAG laser pulses of energy 0.8 H and time duration 3 ns
Czech name
Mikroopracování organických polymerů rentgenovým fotoleptáním využívajícím zdroje záření na laserovém plazmatu generovaném s opakovací frekvencí 10 Hz
Czech description
Jsou zde prezentovány první výsledky experimentů zaměřených na studium přímého fotoleptání organických polymerů nanosekundovými impulzy měkkého rentgenového záření emitovaného z vysokoteplotního plazmatu generovaného v dvojité plynové pulzní trysce Nd:YAG laserem s opakovací frekvencí 10 Hz.
Classification
Type
J<sub>x</sub> - Unclassified - Peer-reviewed scientific article (Jimp, Jsc and Jost)
CEP classification
BH - Optics, masers and lasers
OECD FORD branch
—
Result continuities
Project
<a href="/en/project/1P04LA235" target="_blank" >1P04LA235: Research in frame of the International Center for Dense Magnetized Plasma</a><br>
Continuities
Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)
Others
Publication year
2005
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data specific for result type
Name of the periodical
Microelectronic Engineering
ISSN
0167-9317
e-ISSN
—
Volume of the periodical
78-79
Issue of the periodical within the volume
-
Country of publishing house
NL - THE KINGDOM OF THE NETHERLANDS
Number of pages
5
Pages from-to
452-456
UT code for WoS article
—
EID of the result in the Scopus database
—