All

What are you looking for?

All
Projects
Results
Organizations

Quick search

  • Projects supported by TA ČR
  • Excellent projects
  • Projects with the highest public support
  • Current projects

Smart search

  • That is how I find a specific +word
  • That is how I leave the -word out of the results
  • “That is how I can find the whole phrase”

Micromachining of organic polymers by X-ray photo-etching using a 10Hz laser-plasma radiation sourse

The result's identifiers

  • Result code in IS VaVaI

    <a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F05%3A00025861" target="_blank" >RIV/68378271:_____/05:00025861 - isvavai.cz</a>

  • Result on the web

  • DOI - Digital Object Identifier

Alternative languages

  • Result language

    angličtina

  • Original language name

    Micromachining of organic polymers by X-ray photo-etching using a 10Hz laser-plasma radiation sourse

  • Original language description

    The first resulty of experiments on direct photo-etching of organic polymers using a 10 Hz X-ray source based on a laser-irradiated gas puff target are presented. X-ray radiation in the wavelength range from 2 to 15 nm was produced as a result of irradiation of a double-stream gas puff target with Nd:YAG laser pulses of energy 0.8 H and time duration 3 ns

  • Czech name

    Mikroopracování organických polymerů rentgenovým fotoleptáním využívajícím zdroje záření na laserovém plazmatu generovaném s opakovací frekvencí 10 Hz

  • Czech description

    Jsou zde prezentovány první výsledky experimentů zaměřených na studium přímého fotoleptání organických polymerů nanosekundovými impulzy měkkého rentgenového záření emitovaného z vysokoteplotního plazmatu generovaného v dvojité plynové pulzní trysce Nd:YAG laserem s opakovací frekvencí 10 Hz.

Classification

  • Type

    J<sub>x</sub> - Unclassified - Peer-reviewed scientific article (Jimp, Jsc and Jost)

  • CEP classification

    BH - Optics, masers and lasers

  • OECD FORD branch

Result continuities

  • Project

    <a href="/en/project/1P04LA235" target="_blank" >1P04LA235: Research in frame of the International Center for Dense Magnetized Plasma</a><br>

  • Continuities

    Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Others

  • Publication year

    2005

  • Confidentiality

    S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Data specific for result type

  • Name of the periodical

    Microelectronic Engineering

  • ISSN

    0167-9317

  • e-ISSN

  • Volume of the periodical

    78-79

  • Issue of the periodical within the volume

    -

  • Country of publishing house

    NL - THE KINGDOM OF THE NETHERLANDS

  • Number of pages

    5

  • Pages from-to

    452-456

  • UT code for WoS article

  • EID of the result in the Scopus database