Investigation of the RF pulse modulated plasma jet system during the deposition of Pb(ZrxTi1-x)O3 thin films on polymer substrates

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F05%3A00023616" target="_blank" >RIV/68378271:_____/05:00023616 - isvavai.cz</a>

Alternative codes found

RIV/60076658:12410/05:00006415

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

angličtina

Original language name

Investigation of the RF pulse modulated plasma jet system during the deposition of Pb(ZrxTi1-x)O3 thin films on polymer substrates

Original language description

The RF modulated plasma jet system was investigated during the deposition of Pb(ZrxTi1-x)O3 (PZT) thin films on polymer substrates. PZT films were deposited simultaneously on Si and polymer substrates with Pt layer. PZT films were deposited simultaneously on Si and polymer substrates with Pt layer

Czech name

Studium RF pulzně modulovaného plasma jet systému během depozice tenkých vrstev Pb(ZrxTi1-x)O3 na polymerní substráty

Czech description

Článek se zabývá studiem tryskového systému při depozici tenkých vrstev Pb(ZrxTi1-x)O3 (PZT) na polymerní substráty. Vrstvy PZT byly deponovány na křemíkový a plymerní substrát s platinovou vrstvou. Ke studiu vývoje parametrů plazmatu uvnitř plazmového kanálu během modulačního cyklu byla použita Langmuirova sonda s RF kompenzací umístěná v pozici substrátu. Analýza deponovaných PZT vrstev ukázala, že jejich stechiometrie je silně závislá na energii iontů dopadajících na substrát.

Type

J_x - Unclassified - Peer-reviewed scientific article (Jimp, Jsc and Jost)

CEP classification

BL - Plasma physics and discharge through gases

OECD FORD branch

—

Project

<a href="/en/project/KJB1010302" target="_blank" >KJB1010302: Investigation of Multi-Plasma-Jet System as a Source for Low Temperature Deposition of Perovskites Thin Films</a><br>

Continuities

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Publication year

2005

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Name of the periodical

Surface and Coatings Technology

ISSN

0257-8972

e-ISSN

—

Volume of the periodical

200

Issue of the periodical within the volume

-

Country of publishing house

CH - SWITZERLAND

Number of pages

7

Pages from-to

940-946

UT code for WoS article

—

EID of the result in the Scopus database

—