Influence of the gas phase composition on nanocrystalline diamond films prepared by MWCVD

Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F05%3A00025674" target="_blank" >RIV/68378271:_____/05:00025674 - isvavai.cz</a>
Alternative codes found
RIV/68407700:21460/05:00112916
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Result language
angličtina
Original language name
Influence of the gas phase composition on nanocrystalline diamond films prepared by MWCVD
Original language description
Nanocrystalline diamond (NCD) films have been prepared by microwave plasma chemical vapor deposition (MWCVD) from methane/nitrogen mixtures, and the influence of the gas phase composition on the basic properties of the films (composition, morphology, topography, crystallinity and bonding structure) was investigated
Czech name
Vliv složení plynné fáze na nanokrystalické diamantové vrystvy připravené MWCVD
Czech description
Vrstvy nanikrystalického diamantu byly připraveny depozicí s plynné fáze za pomoci mikrovlnné plazmy ze směsi metanu a dusíku. Byl studován vliv složení plynné fáze na základní vlastnosti vrstev složení, morfologii, topografii, krystaličnost a strukturuvazeb)

Type
J<sub>x</sub> - Unclassified - Peer-reviewed scientific article (Jimp, Jsc and Jost)
CEP classification
BL - Plasma physics and discharge through gases
OECD FORD branch
—

Project
<a href="/en/project/IAA1010110" target="_blank" >IAA1010110: Novel Laser-based Hybrid Technologies for thin Film Deposition</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Publication year
2005
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Similar results(10)