Probe diagnostic of microwave plasma at frequency 2.45 GHz in CW and pulse regime

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F06%3A00097898" target="_blank" >RIV/68378271:_____/06:00097898 - isvavai.cz</a>

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

angličtina

Original language name

Probe diagnostic of microwave plasma at frequency 2.45 GHz in CW and pulse regime

Original language description

The paper is focused on diagnostics of newly developed plasma source. This plasma source of jet type can be operated in cw as well as in PC controlled pulse regime. We carried out diagnostic of the plasma exiting the nozzle by single and double Langmuirprobe in cw as well as in pulsed regime of plasma source operation. The basic plasma parameters - electron density, electron temperature and plasma potential - are estimated from single probe measurements at low pressures. The electron temperature in wide range of pressures is evaluated from double probe measurements. Time evolution of electron temperature along a single period in pulsed mode of operation is measured and discussed. The exiting plasma stream is directly applied on a plastic material sample (PE) with the aim to increase its hydrophility. Degree of hydrophility is characterized by contact angle measurements. Relations between process plasma parameters and results of contact angle measurements are discussed.

Czech name

Sondová diagnostika mikrovlnného plazmatu s frekvencí 2.45 GHz v kontinuálním a pulzním režimu

Czech description

Článek je zaměřen na diagnostiku nově zkonstruovaného plazmatické zdroje, pracujícího při frekvenci 2.45 GHz. Tento plazmatický zdroj, tryskového typu, může být provozován v kontinuálním i pulsním režimu. Byla provedena diagnostika plazmatu vyfukovanéhoz trubice pomocí jednosondových a dvousondových Langmuirovských měření v pulzním i kontinuálním modu. Základní parametry plazmatu ? elektronová hustota, elektronová teplota a potenciál plazmatu ? jsou určeny z jednosondových měření za nízkého tlaku. Elektronová teplota, měřená v širokém rozsahu tlaků, je vypočtena z dvousondových měření. Časová závislost elektronové teploty během jedné periody pulsu je měřena a diskutována. Plazma, které je vyfukováno ven z trysky, je přímo aplikováno na plastický materiál (PE) za účelem zvýšení jeho hydrofility. Stupeň hydrofility je posuzován pomocí měření kontaktních úhlů. Vztah mezi základními charakteristikami plazmatu a výsledky měření kontaktních úhlů je podrobně diskutován.

Type

J_x - Unclassified - Peer-reviewed scientific article (Jimp, Jsc and Jost)

CEP classification

BL - Plasma physics and discharge through gases

OECD FORD branch

—

Project

<a href="/en/project/GA202%2F06%2F0776" target="_blank" >GA202/06/0776: Advanced research and development of low-temperature plasma sources</a><br>

Continuities

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Publication year

2006

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Name of the periodical

Contributions to Plasma Physics

ISSN

0863-1042

e-ISSN

—

Volume of the periodical

46

Issue of the periodical within the volume

5-6

Country of publishing house

DE - GERMANY

Number of pages

6

Pages from-to

439-444

UT code for WoS article

—

EID of the result in the Scopus database

—