Spatially localized current-induced crystallization of amorphous silicon films

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F08%3A00320315" target="_blank" >RIV/68378271:_____/08:00320315 - isvavai.cz</a>

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

angličtina

Original language name

Spatially localized current-induced crystallization of amorphous silicon films

Original language description

Field-enhanced metal-induced solid phase crystallization (FE-MISPC) at room temperature is employed to create microscopic crystalline regions at predefined positions in hydrogen-rich amorphous silicon (a-Si:H) films. Electric field is applied locally using a sharp conductive tip in atomic force microscope (AFM) and nickel electrode below the a-Si:H film. The process is driven by a constant current of -50 pA to -500 pA while controlling the amount of transferred energy (1?300 nJ) as a function of time. Passing current leads to a formation of nanoscale pits in the a-Si:H films. Depending on the energy amount and rate the pits exhibit lower or orders of magnitude higher conductivity as detected by current-sensing AFM. High conductivity is attributed to alocal crystallization of the films. This is confirmed by micro-Raman spectroscopy.

Czech name

Prostorově definovaná krystalizace vrstev amorfního křemíku indukovaná proudem

Czech description

Polem-stimulavaná krystalizace v pevné fázi při pokojové teplotě je použita pro vytvoření krystalických oblastí v amorfním křemíku s vysokým obsahem vodíku v předem definovaných pozicích. Elektrické pole bylo vyvoláno mezi hrotem mikroskopu atomárních sil a niklovou elektrodou pod vrstvou amorfního křemíku. Proces je řízen konstantním proudem mezi 50 až 500 pA a systému je dodána předem definovaná energie mezi 1 až 300 nJ. Průchod proudu vede k vytvoření důlku s nanometrovými rozměry, v jehož středu sevytváří krystalická oblast, což bylo prokázáno mapou vodivosti v AFM i mikroRamanovskou spektroskopií.

Type

J_x - Unclassified - Peer-reviewed scientific article (Jimp, Jsc and Jost)

CEP classification

BM - Solid-state physics and magnetism

OECD FORD branch

—

Project

Result was created during the realization of more than one project. More information in the Projects tab.

Continuities

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Publication year

2008

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Name of the periodical

Journal of Non-Crystalline Solids

ISSN

0022-3093

e-ISSN

—

Volume of the periodical

354

Issue of the periodical within the volume

19-25

Country of publishing house

NL - THE KINGDOM OF THE NETHERLANDS

Number of pages

5

Pages from-to

—

UT code for WoS article

000256500400053

EID of the result in the Scopus database

—