An apparatus for neutral and ion flux measurement on substrate in a low-temperature plasma
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F13%3A00424549" target="_blank" >RIV/68378271:_____/13:00424549 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
čeština
Original language name
Aparatura pro měření toků neutrálních a ionizovaných částic na substrát v nízkoteplotním plazmatu
Original language description
V rámci řešení projektu TA01010517 jsme vyvinuli nové měřící zařízení umožňující stanovit depoziční rychlost neutrálních nebo ionizovaných částic dopadajících na substrát. Homogenní magnetické pole na vstupu QCM sensoru umožňuje efektivně potlačit průnikelektronů do oblasti sensoru.
Czech name
Aparatura pro měření toků neutrálních a ionizovaných částic na substrát v nízkoteplotním plazmatu
Czech description
V rámci řešení projektu TA01010517 jsme vyvinuli nové měřící zařízení umožňující stanovit depoziční rychlost neutrálních nebo ionizovaných částic dopadajících na substrát. Homogenní magnetické pole na vstupu QCM sensoru umožňuje efektivně potlačit průnikelektronů do oblasti sensoru.
Classification
Type
G<sub>funk</sub> - Functional sample
CEP classification
BL - Plasma physics and discharge through gases
OECD FORD branch
—
Result continuities
Project
<a href="/en/project/TA01010517" target="_blank" >TA01010517: Modern multilayer optical structures.</a><br>
Continuities
I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace
Others
Publication year
2013
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data specific for result type
Internal product ID
IONEU2013
Numerical identification
—
Technical parameters
Vyvinutá aparatura umožňuje měřit tok (depoziční rychlost) neutrálních nebo nabitých částic na substrát. K tomuto účelu je využito QCM čidlo s možností přivedení předpětí opatřené vhodně zvoleným magneickým polem na vstupu QCM čidla
Economical parameters
Snížení pořizovacích nákladů na přístrojové vybavení.
Application category by cost
—
Owner IČO
68378271
Owner name
Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
Owner country
CZ - CZECH REPUBLIC
Usage type
A - K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence
Licence fee requirement
A - Poskytovatel licence na výsledek požaduje licenční poplatek
Web page
—