Laser structuring of sensor layers for fabrication of a strain gauge lamella

Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F25%3A00645446" target="_blank" >RIV/68378271:_____/25:00645446 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Result language
čeština
Original language name
Laserové strukturování senzorických vrstev za účelem vytvoření měřicí lamely
Original language description
Technologie umožňuje selektivní laserové strukturování senzorických vrstev (zejména NiCr) na dielektrických povlacích za účelem vytvoření funkční měřicí lamely odporových tenzometrických senzorů. Proces je založen na ultrakrátkých laserových pulzech a umožňuje dosažení mikrometrové přesnosti geometrie, shody odporových ramen v toleranci < 2 Ω, rychlosti skenování > 700 mm/s a méně než 10 přejezdů laserového svazku. Technologie je určena pro průmyslové aplikace s požadavkem na vysokou přesnost, stabilitu a dlouhou životnost.
Czech name
Laserové strukturování senzorických vrstev za účelem vytvoření měřicí lamely
Czech description
Technologie umožňuje selektivní laserové strukturování senzorických vrstev (zejména NiCr) na dielektrických povlacích za účelem vytvoření funkční měřicí lamely odporových tenzometrických senzorů. Proces je založen na ultrakrátkých laserových pulzech a umožňuje dosažení mikrometrové přesnosti geometrie, shody odporových ramen v toleranci < 2 Ω, rychlosti skenování > 700 mm/s a méně než 10 přejezdů laserového svazku. Technologie je určena pro průmyslové aplikace s požadavkem na vysokou přesnost, stabilitu a dlouhou životnost.

Project
<a href="/en/project/FW06010462" target="_blank" >FW06010462: Thin-film strain gauge with high sensitivity and durability prepared by magnetron sputtering</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Publication year
2025
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Internal product ID
FW06010462/001
Numerical identification
FW06010462/001
Technical parameters
Výsledky a vyhodnocení“ (kap. 6) – klíčové parametry: rychlost skenování > 700 mm/s, < 10 přejezdů, shoda odporových ramen A–D < 2 Ω, selektivní odstranění NiCr bez poškození dielektrika.
Economical parameters
Ověřená technologie umožňuje rychlou a reprodukovatelnou přípravu senzorických měřicích lamel (včetně automatizovaného 4bodového měření a iterativního dolaďování odporů), čímž snižuje čas výroby, zvyšuje výtěžnost a umožňuje průmyslové využití tenkovrstvých tenzometrických senzorů.
Application category by cost
—
Owner IČO
68378271
Owner name
Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.,HVM PLASMA, spol. s r.o.
Owner country
CZ - CZECH REPUBLIC
Usage type
A - K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence
Licence fee requirement
A - Poskytovatel licence na výsledek požaduje licenční poplatek
Web page
—

Similar results(10)