Electric contacts for sensor layers
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F25%3A00645914" target="_blank" >RIV/68378271:_____/25:00645914 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
čeština
Original language name
Kontaktování senzorických vrstev
Original language description
V rámci řešení projektu TAČR TREND jsme vyvinuli metodu přípravy vícevrstevnaté struktury vhodné pro vytváření elektrických kontaktů na senzorických vrstvách typicky založených na materiálu NiCr. Cílený výzkum prokázal, že kombinace tenké vrstvy založené na slitině Ni92V8 opatřené tenkou vrstvou čisté mědi vykazuje vysokou adhezi k senzorickému povlaku NiCr a zároveň zajišťuje bezvadné možnosti cínového pájení na takto připravené kontakty. Jako ekonomicky nejvhodnější metoda přípravy se ukázalo deponovat tenké vrstvy pomocí DC magnetronového naprašování. Pro vysoké teploty nad teplotní použitelnost cínu jsme vyvinuli kontaktování měděného vodiče metodou paralelního svařování, bez mezivrstev přímo na senzorickou vrstvu.
Czech name
Kontaktování senzorických vrstev
Czech description
V rámci řešení projektu TAČR TREND jsme vyvinuli metodu přípravy vícevrstevnaté struktury vhodné pro vytváření elektrických kontaktů na senzorických vrstvách typicky založených na materiálu NiCr. Cílený výzkum prokázal, že kombinace tenké vrstvy založené na slitině Ni92V8 opatřené tenkou vrstvou čisté mědi vykazuje vysokou adhezi k senzorickému povlaku NiCr a zároveň zajišťuje bezvadné možnosti cínového pájení na takto připravené kontakty. Jako ekonomicky nejvhodnější metoda přípravy se ukázalo deponovat tenké vrstvy pomocí DC magnetronového naprašování. Pro vysoké teploty nad teplotní použitelnost cínu jsme vyvinuli kontaktování měděného vodiče metodou paralelního svařování, bez mezivrstev přímo na senzorickou vrstvu.
Classification
Type
G<sub>funk</sub> - Functional sample
CEP classification
—
OECD FORD branch
10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)
Result continuities
Project
<a href="/en/project/FW06010462" target="_blank" >FW06010462: Thin-film strain gauge with high sensitivity and durability prepared by magnetron sputtering</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Others
Publication year
2025
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data specific for result type
Internal product ID
FVKS/FZU/2025
Numerical identification
FVKS/FZU/2025
Technical parameters
Počet vrstev v multivrstevnaté struktuře: 2 Tloušťka Ni92V8 tenké vrstvy: 120 nm Tloušťka Cu tenké vrstvy: 500 nm Depoziční metoda: DC magnetron sputtering Pracovní plyn: argon Pracovní tlak: 0,5 Pa
Economical parameters
Ověření schopnosti kontaktování senzorických vrstev v rámci projektu. Bude využito pro výsledek projektu FW06010462-V5
Application category by cost
—
Owner IČO
68378271
Owner name
Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i., HVM PLASMA spol. s r.o., Západočeská univerzita v Plzni
Owner country
CZ - CZECH REPUBLIC
Usage type
A - K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence
Licence fee requirement
A - Poskytovatel licence na výsledek požaduje licenční poplatek
Web page
—