Scanning measuring system for noncontact topography and layer thickness measurements
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68407700%3A21110%2F15%3A00236784" target="_blank" >RIV/68407700:21110/15:00236784 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
čeština
Original language name
Skenovací měřicí systém pro bezkontaktní topografii povrchů a měření tloušťky
Original language description
Jedná se o plně automatizovaný počítačem řízený skenovací bezkontaktní měřicí systém pro topografii povrchů a měření tloušťky opticky transparentních vrstev (membrán), který využívá motorizovaného mechanického skenovacího systému s dvěma lineárními a dvěma otočnými posuvy a měřicí sondy chromatického konfokálního senzoru pro určování vzdálenosti a tloušťky. Měřicí sonda je natáčena při měření ve směru normály povrchu.
Czech name
Skenovací měřicí systém pro bezkontaktní topografii povrchů a měření tloušťky
Czech description
Jedná se o plně automatizovaný počítačem řízený skenovací bezkontaktní měřicí systém pro topografii povrchů a měření tloušťky opticky transparentních vrstev (membrán), který využívá motorizovaného mechanického skenovacího systému s dvěma lineárními a dvěma otočnými posuvy a měřicí sondy chromatického konfokálního senzoru pro určování vzdálenosti a tloušťky. Měřicí sonda je natáčena při měření ve směru normály povrchu.
Classification
Type
O - Miscellaneous
CEP classification
JA - Electronics and optoelectronics
OECD FORD branch
—
Result continuities
Project
<a href="/en/project/GA13-31765S" target="_blank" >GA13-31765S: Active membrane fluidic optical elements</a><br>
Continuities
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Others
Publication year
2015
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů