Realization of Miniature Silicon Microphones
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68407700%3A21230%2F03%3A03089478" target="_blank" >RIV/68407700:21230/03:03089478 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
čeština
Original language name
Realizace miniaturních křemíkových mikrofonů
Original language description
The contribution deals with realization of two types of miniature silicon microphones using micromechanical technologies. Microphones consist of the square silicon diaphragm and planar square back electrode or non-planar circular back electrode respectively. The equivalent circuit of both types is derived, the process of realization is described and the results are shown.
Czech name
Realizace miniaturních křemíkových mikrofonů
Czech description
—
Classification
Type
D - Article in proceedings
CEP classification
JA - Electronics and optoelectronics
OECD FORD branch
—
Result continuities
Project
—
Continuities
Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)
Others
Publication year
2003
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data specific for result type
Article name in the collection
Audio Technologies and Processing 2003
ISBN
80-214-2391-9
ISSN
—
e-ISSN
—
Number of pages
8
Pages from-to
37-44
Publisher name
Vysoké učení technické v Brně, Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
Place of publication
Brno
Event location
Praha
Event date
May 28, 2003
Type of event by nationality
CST - Celostátní akce
UT code for WoS article
—