Realization of Miniature Silicon Microphones

Result code in IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68407700%3A21230%2F03%3A03089478" target="_blank" >RIV/68407700:21230/03:03089478 - isvavai.cz</a>

Result on the web

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Result language

čeština

Original language name

Realizace miniaturních křemíkových mikrofonů

Original language description

The contribution deals with realization of two types of miniature silicon microphones using micromechanical technologies. Microphones consist of the square silicon diaphragm and planar square back electrode or non-planar circular back electrode respectively. The equivalent circuit of both types is derived, the process of realization is described and the results are shown.

Czech name

Realizace miniaturních křemíkových mikrofonů

Czech description

—

Type

D - Article in proceedings

CEP classification

JA - Electronics and optoelectronics

OECD FORD branch

—

Project

—

Continuities

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Publication year

2003

Confidentiality

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Article name in the collection

Audio Technologies and Processing 2003

ISBN

80-214-2391-9

ISSN

—

e-ISSN

—

Number of pages

8

Pages from-to

37-44

Publisher name

Vysoké učení technické v Brně, Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií

Place of publication

Brno

Event location

Praha

Event date

May 28, 2003

Type of event by nationality

CST - Celostátní akce

UT code for WoS article

—