Optimization of piezoresistive element position on substrate using FEM
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68407700%3A21230%2F11%3A00171669" target="_blank" >RIV/68407700:21230/11:00171669 - isvavai.cz</a>
Result on the web
<a href="http://www.ieee.cz/slabobzor/" target="_blank" >http://www.ieee.cz/slabobzor/</a>
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
čeština
Original language name
Optimalizace polohy piezorezistivních prvků na substrátu pomocí FEM simulací
Original language description
Modelování a simulace mechanických namáhání a deformaci je prakticky nezbytné při jakémkoli návrhu nových MEMS struktur. Moderní simulační prostředky tento návrh velmi usnadňují a umožňují optimalizaci nejrůznějších parametrů ještě před vlastní výrobou nové struktury. Tento článek ukazuje příklad optimalizace polohy piezorezistivních prvků na substrátu pro různé typy deformačních převodníků (jednostranně vetknutý nosník a membrána). Modelování struktur bylo provedeno simulátorem využívajícím metodu konečných prvků (FEM). Navržené struktury byly následně vyrobeny a testovány.
Czech name
Optimalizace polohy piezorezistivních prvků na substrátu pomocí FEM simulací
Czech description
Modelování a simulace mechanických namáhání a deformaci je prakticky nezbytné při jakémkoli návrhu nových MEMS struktur. Moderní simulační prostředky tento návrh velmi usnadňují a umožňují optimalizaci nejrůznějších parametrů ještě před vlastní výrobou nové struktury. Tento článek ukazuje příklad optimalizace polohy piezorezistivních prvků na substrátu pro různé typy deformačních převodníků (jednostranně vetknutý nosník a membrána). Modelování struktur bylo provedeno simulátorem využívajícím metodu konečných prvků (FEM). Navržené struktury byly následně vyrobeny a testovány.
Classification
Type
J<sub>x</sub> - Unclassified - Peer-reviewed scientific article (Jimp, Jsc and Jost)
CEP classification
JB - Sensors, detecting elements, measurement and regulation
OECD FORD branch
—
Result continuities
Project
<a href="/en/project/GA102%2F09%2F1601" target="_blank" >GA102/09/1601: Intelligent micro and nano structures for microsensors realized with support of nanotechnology</a><br>
Continuities
Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)
Others
Publication year
2011
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data specific for result type
Name of the periodical
Slaboproudý obzor
ISSN
0037-668X
e-ISSN
—
Volume of the periodical
67
Issue of the periodical within the volume
3
Country of publishing house
CZ - CZECH REPUBLIC
Number of pages
5
Pages from-to
14-18
UT code for WoS article
—
EID of the result in the Scopus database
—