Response of inorganic materials to laser-plasma EUV radiation focused with a lobster eye collector
The result's identifiers
Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68407700%3A21340%2F07%3A04137251" target="_blank" >RIV/68407700:21340/07:04137251 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternative languages
Result language
angličtina
Original language name
Response of inorganic materials to laser-plasma EUV radiation focused with a lobster eye collector
Original language description
A single photon of EUV radiation carries enough energy to break any chemical bond or excite electrons from inner atomic shells. It means that the radiation regardless of its intensity can modify chemical structure of molecules. In this work interaction of EUV radiation with inorganic materials was investigated. Different inorganic samples were irradiated with a 10 Hz laser - plasma EUV source based on a gas puff target. The radiation was focused on a sample surface using a lobster eye collector.
Czech name
Odpověď anorganických materiálů na EUV záření generované laserovou plasmou a fokusované kolektorem typu račí oko
Czech description
Jediný foton EUV záření nese dostatek energie pro porušení libovolné chemické vazby nebo excitaci elektronů z nižších elektronových slupek. V této práci je studována interakce anorganických materiálů s EUV zářením. Různé vzorky byly ozářeny 10 Hz EUV zdrojem na bázi laserového plasmatu. Záření bylo fokusováno systémem typu račí oko.
Classification
Type
D - Article in proceedings
CEP classification
JJ - Other materials
OECD FORD branch
—
Result continuities
Project
—
Continuities
Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)
Others
Publication year
2007
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data specific for result type
Article name in the collection
Damage to VUV, EUV, and X-ray Optics
ISBN
978-0-8194-6714-0
ISSN
—
e-ISSN
—
Number of pages
9
Pages from-to
"65860A"-65860A"
Publisher name
SPIE
Place of publication
Bellingham (stát Washington)
Event location
Praha
Event date
Apr 18, 2007
Type of event by nationality
EUR - Evropská akce
UT code for WoS article
—