Optical Emission Spectrocopy of the Barrier Torch Discharge

Result code in IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68407700%3A21340%2F07%3A04138931" target="_blank" >RIV/68407700:21340/07:04138931 - isvavai.cz</a>
Result on the web
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Result language
angličtina
Original language name
Optical Emission Spectrocopy of the Barrier Torch Discharge
Original language description
Barrier torch discharge at atmospheric pressure is a relatively new plasma deposition system capable of working at atmospheric pressure in the open air. Barrier torch discharge is used for deposition of ZnO and TiO2 layers. In this paper we present the qualitative analysis of the emission spectra of the barrier torch discharge during deposition. The first results of spectroscopic measurements of Balme Hbeta line width aimed at estimating the electron density in plasma jet at atmospheric pressure are presented as well. Electron concentration was estimated at special conditions (DC plasma jet with Ar as working gas).
Czech name
Optická emisní spektroskopie bariérového pochodňového výboje
Czech description
Předmětem této práce je studium parametrů plazmatu bariérového pochodňového výboje optickou emisní spektroskopií během depozice tenkých vrstev oxidu titaničitého. Elektronová hustota plazmatu byla určena z délky rozšíření tzv. Hbeta čáry.

Publication year
2007
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Article name in the collection
XXVIII International Conference on Phenomena in Ionized Gases
ISBN
978-80-87026-01-4
ISSN
—
e-ISSN
—
Number of pages
4
Pages from-to
1090-1093
Publisher name
Ústav fyziky plazmatu AV ČR, v.v.i
Place of publication
Praha 8
Event location
Praha
Event date
Jul 15, 2007
Type of event by nationality
EUR - Evropská akce
UT code for WoS article
—

Similar results(10)