Charakterizace amorfních chalkogenidů rentgenovou fotoelektronovou spektroskopií a jejich strukturování plazmatickým leptáním
Veřejná podpora
Poskytovatel
Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy
Program
Šestý rámcový program Evropského společenství pro výzkum, technický rozvoj a demonstrační činnosti
Veřejná soutěž
—
Hlavní účastníci
Univerzita Pardubice / Fakulta chemicko-technologická
Druh soutěže
M2 - Mezinárodní spolupráce
Číslo smlouvy
MSMT-1907/2017
Alternativní jazyk
Název projektu anglicky
X-ray photoelectron spectroscopy characterization and plasma etching structuration of amorphous chalcogenides
Anotace anglicky
In the frame of the project, high quality chalcogenide glasses and their amorphous thin films Ge-(As, Sb)-Se-(Te) will be fabricated by pulsed laser deposition and by RF magnetron sputtering. The fabricated layers will be characterized in terms of the structure (XPS, Raman spectroscopy), morphology (AFM, SEM-EDX), and optical properties (spectroscopic ellipsometry). Structural properties of thin films will be studied depending on deposition parameters and chemical composition. Fundamental knowledge on the etching mechanisms of chalcogenide glasses in high density plasmas will be obtained. In particular surface structure of chalcogenide thin films will be explored by XPS before, during, and after inductively coupled plasma etching. Plasma processes of potential interest for device patterning will be identified. Elementary patterns will be etched to evaluate their application.
Vědní obory
Kategorie VaV
ZV - Základní výzkum
CEP - hlavní obor
JH - Keramika, žáruvzdorné materiály a skla
CEP - vedlejší obor
CA - Anorganická chemie
CEP - další vedlejší obor
—
OECD FORD - odpovídající obory <br>(dle <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">převodníku</a>)
10402 - Inorganic and nuclear chemistry<br>20504 - Ceramics
Hodnocení dokončeného projektu
Hodnocení poskytovatelem
U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)
Zhodnocení výsledků projektu
Projekt byl realizován v rámci Aktivity MOBILITY, jejímž hlavním cílem je navázání a prohlubování kontaktů se zahraničními výzkumnými institucemi. Neprobíhá tedy kontrola dílčích výstupů projektu prostřednictvím hodnotící komise, avšak je kontrolována správnost čerpání přidělených financí a přiměřenost jejich využití.
Termíny řešení
Zahájení řešení
1. 1. 2017
Ukončení řešení
31. 12. 2018
Poslední stav řešení
U - Ukončený projekt
Poslední uvolnění podpory
29. 5. 2018
Dodání dat do CEP
Důvěrnost údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Systémové označení dodávky dat
CEP19-MSM-7A-U/01:1
Datum dodání záznamu
18. 6. 2019
Finance
Celkové uznané náklady
107 tis. Kč
Výše podpory ze státního rozpočtu
107 tis. Kč
Ostatní veřejné zdroje financování
0 tis. Kč
Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.
0 tis. Kč