Teorie a výpočty elektronového rozptylu pro potřeby nanolitografie

Poskytovatel

Ministerstvo školství, mládeže a tělovýchovy

Program

COST CZ

Veřejná soutěž

COST CZ 4 (SMSM2014LD4)

Hlavní účastníci

Ústav fyzikální chemie J. Heyrovského AV ČR, v. v. i.

Druh soutěže

VS - Veřejná soutěž

Číslo smlouvy

MSMT-8634/2014-1

Název projektu anglicky

Theory and calculations of electron scattering for needs of nanolithography

Anotace anglicky

The subject of the COST Action CM1301 deals with the development of methods known under the acronym FEBID (Focused Electron Beam Induced Deposition). It concerns the deposition of fragments formed by decomposition of molecules of a volatile precursor on a surface of a solid. The process is induced by an electron beam. The objective is to obtain deposited three-dimensional structures with the size of less than 10 nm, that are used in nanotechnologies. For scientific and commercial success of such a technology (called nanolithography) it is necessary to look for new precursors suitable for FEBID, and by means of both experiment and theory to understand better mechanism of chemical reactions of precursors molecule induced by electron impact. The experience accummulated so far shows that the first step in many of these reactions is initiated by vibrational excitation of molecules by electron impact. The applicant is expert in this field of theoretical chemical physics and because of his recent achievements the coordinator of the Action CM1301, Prof. Petra Swiderek, University of Bremen, invited his team to join the Action. The scope of the Action is largely experimental, with the participation of a few industrial companies. The task of the applicant’s group is to help experimentalists in their search for new precursors and optimum reaction conditions. The tool of the applicant’s group are calculations based on the quantum theory of electron scattering by polyatomic molecules. The aim of this project is to look for optimum electron energy and chemical structure of precursors for their vibrational excitation.

Kategorie VaV

ZV - Základní výzkum

CEP - hlavní obor

CF - Fyzikální chemie a teoretická chemie

CEP - vedlejší obor

BE - Teoretická fyzika

CEP - další vedlejší obor

—

OECD FORD - odpovídající obory <br>(dle <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">převodníku</a>)

10301 - Atomic, molecular and chemical physics (physics of atoms and molecules including collision, interaction with radiation, magnetic resonances, Mössbauer effect)<br>10403 - Physical chemistry

Hodnocení poskytovatelem

V - Vynikající výsledky projektu (s mezinárodním významem atd.)

Zhodnocení výsledků projektu

Vývoj a testování metody RAC (Regularized Analytic Continuation) pro určení rezonančních parametrů polyatomových molekul a její aplikace na diacetylénu, cyklopropánu a komplexu AuClCO. Vývoj DMR metody pro vibračně neelastické srážky elektronů a molekul prekurzoru. Jeji použití na molekuly cyklopropanu, diacetylénu a AuClCO.

Zahájení řešení

25. 1. 2014

Ukončení řešení

31. 5. 2017

Poslední stav řešení

U - Ukončený projekt

Poslední uvolnění podpory

28. 2. 2017

Důvěrnost údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Systémové označení dodávky dat

CEP18-MSM-LD-U/04:1

Datum dodání záznamu

21. 11. 2018

Celkové uznané náklady

2 033 tis. Kč

Výše podpory ze státního rozpočtu

2 033 tis. Kč

Ostatní veřejné zdroje financování

0 tis. Kč

Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.

0 tis. Kč