Platforma pokročilých mikroskopických a spektroskopických technik pro nano a mikrotechnologie

Poskytovatel

Technologická agentura ČR

Program

Centra kompetence

Veřejná soutěž

Centra kompetence 1 (STA02012CK)

Hlavní účastníci

Vysoké učení technické v Brně / Fakulta strojního inženýrství

Druh soutěže

VS - Veřejná soutěž

Číslo smlouvy

3

Název projektu anglicky

Advanced Microscopy and Spectroscopy Platform for Research and Development in Nano and Microtechnologies - AMISPEC

Anotace anglicky

The principal objective is to enforce the ability of the consortium members to become world-wide competitive in advanced microscopic and spectroscopic techniques and their applications for nano and microtechnology. This objective will be met through the proposed general SRA covering the following particular objectives: I. Building relevant instruments/developing technological and diagnostics methods 1. Nanolithography: E-beam lithograph with enhanced throughput at UH resolution for nanoresearch - high energy (? 80 keV) electron column and > 40-MHz high-speed pattern generator 2. Microscopy and nanofabrication under UHV conditions: UHV SEM/SPM modular complex system for in situ fabrication and characterization of nanostructures/surface analysis 3. Semiconductor analysis and diagnostics: application of electron and ion beams, and optical spectroscopy/interferometry to a study of semiconductors II. Application of instruments and techniques Fabrication and characterisation of nanostructures by instruments from Obj. I/1-3, study of functional properties of nanostructures with applications in plasmonics, spintronics, security; diagnostics of semiconductor materials/devices by techniques from Obj. I/3 - acquiring application “know-how”/novel commercial products and providing feedback for improving instruments performance III. Updating and promoting the knowledge and expertise To meet the project objectives and improve the knowledge of team members, workshops and summer schools will be held. IV. Increasing human resources Due to the long-term period of the project and general needs for highly qualified R&D staff, systematic measures increasing the number of researchers working on the project and in related high-tech areas should be taken. V. Emerging applications and technologies, results dissemination The consortium will implement immerging trends as the new project objectives.

Kategorie VaV

AP - Aplikovaný výzkum

CEP - hlavní obor

BA - Obecná matematika

CEP - vedlejší obor

BM - Fyzika pevných látek a magnetismus

CEP - další vedlejší obor

JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

OECD FORD - odpovídající obory <br>(dle <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">převodníku</a>)

10101 - Pure mathematics<br>10302 - Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.)<br>20201 - Electrical and electronic engineering

Hodnocení poskytovatelem

U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)

Zhodnocení výsledků projektu

Jedná se o předběžné údaje, neproběhlo Závěrečné oponentní řízení.

Zahájení řešení

1. 3. 2012

Ukončení řešení

31. 12. 2019

Poslední stav řešení

U - Ukončený projekt

Poslední uvolnění podpory

28. 2. 2019

Důvěrnost údajů

C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.

Systémové označení dodávky dat

CEP20-TA0-TE-U/01:1

Datum dodání záznamu

19. 2. 2020

Celkové uznané náklady

277 191 tis. Kč

Výše podpory ze státního rozpočtu

187 694 tis. Kč

Ostatní veřejné zdroje financování

0 tis. Kč

Neveřejné tuz. a zahr. zdroje finan.

92 402 tis. Kč