Research and development of novel pulsed plasma technologies for deposition of advanced thin-film materials
Public support
Provider
Ministry of Industry and Trade
Programme
TRIO
Call for proposals
TRIO 3 (SMPO201800001)
Main participants
HVM PLASMA, spol. s r.o.
Contest type
VS - Public tender
Contract ID
2018FV30177
Alternative language
Project name in Czech
Výzkum a vývoj nových pulzních plazmových technologií pro depozici pokročilých tenkovrstvých materiálů
Annotation in Czech
Cílem projektu je rozvinout a implementovat do výrobní praxe nejpokročilejší, jen velmi nedávno publikované naprašovací technologie založené na metodě magnetronového naprašování s pulzy o vysokém výkonu (HiPIMS). Konkrétně jde o rychlou reaktivní HiPIMS depozici oxidových vrstev pro senzory, depozici tvrdých otěruvzdorných vrstev na nevodivé substráty a implementaci hybridní technologie HiPIMS s obloukovým odpařováním. Tyto inovativní technologie mohou významným způsobem posunout vpřed plazmatické depoziční technologie určené k přípravě materiálů se specifickými vlastnostmi a přispět k výrobě zcela nových produktů založených na nanotechnologiích. Potenciální aplikace jsou jak ve firmě HVM PLASMA, spol. s r.o., tak i v dalších firmách, neboť dopad cílů projektu může být daleko širší a ovlivnit i příbuzné obory, například vrstvy pro mikroelektroniku, ochranné a dekorativní povlaky, fotovoltaiku a podobně.
Scientific branches
R&D category
AP - Applied research
OECD FORD - main branch
20503 - Textiles; including synthetic dyes, colours, fibres (nanoscale materials to be 2.10; biomaterials to be 2.9)
OECD FORD - secondary branch
10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)
OECD FORD - another secondary branch
—
CEP - equivalent branches <br>(according to the <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">converter</a>)
BK - Liquid mechanics<br>BL - Plasma physics and discharge through gases<br>JJ - Other materials
Completed project evaluation
Provider evaluation
U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)
Project results evaluation
Uspěl podle zadání. Succeeded according to the assignment.
Solution timeline
Realization period - beginning
Jan 1, 2018
Realization period - end
Dec 31, 2021
Project status
U - Finished project
Latest support payment
Mar 22, 2021
Data delivery to CEP
Confidentiality
C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.
Data delivery code
CEP22-MPO-FV-U
Data delivery date
Aug 29, 2022
Finance
Total approved costs
12,706 thou. CZK
Public financial support
9,000 thou. CZK
Other public sources
0 thou. CZK
Non public and foreign sources
3,706 thou. CZK