*Research and development of advanced silicon wafer for sub-micron technologies.
Public support
Provider
Ministry of Industry and Trade
Programme
IMPULSE
Call for proposals
IMPULS 2 (SMPO200500009)
Main participants
—
Contest type
VS - Public tender
Contract ID
FI-IM2/131
Alternative language
Project name in Czech
*Výzkum a vývoj pokročilé křemíkové desky pro sub-mikronové technologie.
Annotation in Czech
*Výzkum a vývoj technologie výroby pokročilé leštěné desky pro high-tech sub-mikronové technologie výroby integrovaných obvodů. Pro dosažení daných cílů vývoje pokročilé desky bude v procesu Czochralskiho tažení monokrystalů křemíku instalována nová topná zóna průměru 450 mm a sníží se rozdíl mezi úrovní technologie výroby monokrystalů křemíku v ČR a u vedoucích firem v oboru.
Scientific branches
R&D category
VV - Exeperimental development
CEP classification - main branch
JA - Electronics and optoelectronics
CEP - secondary branch
BM - Solid-state physics and magnetism
CEP - another secondary branch
—
OECD FORD - equivalent branches <br>(according to the <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">converter</a>)
10302 - Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.)<br>20201 - Electrical and electronic engineering
Completed project evaluation
Provider evaluation
U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)
Project results evaluation
Production technology for the advanced 6" Si wafers (ASiW) for sub-micron applications was developed. ASiW prototypes and the samples of 8" wafers were produced. Crystal growth process in 18" hot zone was developed with support of the advanced CAD tools.
Solution timeline
Realization period - beginning
Mar 1, 2005
Realization period - end
Dec 31, 2007
Project status
U - Finished project
Latest support payment
May 23, 2007
Data delivery to CEP
Confidentiality
C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.
Data delivery code
CEP08-MPO-FI-U/02:2
Data delivery date
Apr 1, 2009
Finance
Total approved costs
11,668 thou. CZK
Public financial support
3,345 thou. CZK
Other public sources
0 thou. CZK
Non public and foreign sources
8,323 thou. CZK