Research and Development of Technologies of Manufacturing of Novel Species of Silicon Wafers
Public support
Provider
Ministry of Industry and Trade
Programme
TIP
Call for proposals
TIP 3 (SMPO2011/01)
Main participants
—
Contest type
VS - Public tender
Contract ID
FR-TI3/031
Alternative language
Project name in Czech
Výzkum a vývoj technologií výroby nových typů křemíkových desek
Annotation in Czech
Programový projekt je zaměřen na VaV nových procesů růstu krystalů, výroby křemíkových desek a růst epitaxních vrstev. Předmětem VaV růstu krystalů budou křemíkové ingoty orientace (110) a ingoty velkých průměrů (nad 200 mm). Východiskem pro realizaci vývojových testů jsou počítačové simulace Czochralskiho růstu krystalů křemíku a vývoj specifických modulů pro optimalizaci procesu růstu. Vyvinuté krystaly budou využity pro vývoj procesů výroby leštěných křemíkových desek se sub-mikronovou rovinností a sub-nanometrovou drsnosti povrchu vhodných pro pokročilé polovodičové aplikace. VaV procesu růstu pokročilých epitaxních vrstev (AEPI Advanced EPItaxy) je zaměřen na dosažení špičkových parametrů (vysoké radiální homogenity tloušťky vrstvy a koncentrace dopantu; řízeného axiálního profilu dopantu) epitaxních vrstev na křemíkových substrátech průměru 200 mm.
Scientific branches
R&D category
VV - Exeperimental development
CEP classification - main branch
JJ - Other materials
CEP - secondary branch
JA - Electronics and optoelectronics
CEP - another secondary branch
—
OECD FORD - equivalent branches <br>(according to the <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">converter</a>)
20201 - Electrical and electronic engineering<br>20502 - Paper and wood<br>20503 - Textiles; including synthetic dyes, colours, fibres (nanoscale materials to be 2.10; biomaterials to be 2.9)<br>21001 - Nano-materials (production and properties)<br>21002 - Nano-processes (applications on nano-scale); (biomaterials to be 2.9)
Completed project evaluation
Provider evaluation
U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)
Project results evaluation
The goals and material contents of the project under subject were fulfilled within the defined extent and terms.
Solution timeline
Realization period - beginning
Jan 1, 2011
Realization period - end
Dec 31, 2012
Project status
U - Finished project
Latest support payment
May 23, 2012
Data delivery to CEP
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data delivery code
CEP13-MPO-FR-U/02:2
Data delivery date
Jul 14, 2014
Finance
Total approved costs
11,503 thou. CZK
Public financial support
3,870 thou. CZK
Other public sources
0 thou. CZK
Non public and foreign sources
7,633 thou. CZK