Experimental development of MOCVD apparatus for high temperature growth of A(III)B(V) semiconductors and applied research of metal-nitrides epitaxial thin film growth
Public support
Provider
Technology Agency of the Czech Republic
Programme
Programme of applied research and experimental development EPSILON
Call for proposals
EPSILON 2 (STA02017TH02)
Main participants
SVCS Process Innovation s.r.o.
Contest type
VS - Public tender
Contract ID
2017TH02020926
Alternative language
Project name in Czech
Experimentální vývoj MOCVD aparatur pro vysokoteplotní růst A(III)B(V) polovodičů a aplikovaný výzkum růstu metal-nitridových epitaxních tenkých vrstev
Annotation in Czech
- vývoj MOCVD aparatury pro epitaxní růst A(III)B(V) vrstev na substrátech do průměru 100 mm - testování růstu MOCVD epitaxních indium-nitridových vrstev s využitím existující „nízkoteplotní“ MOCVD aparatury na pracovišti CEITEC-VUT na substrátech do průměru 100 mm - ladění růstu konkrétních metal-nitridových vrstev (GaN, AlN, InN) s cílem optimalizace konstrukce vysokoteplotního MOCVD reaktoru - vývoj aplikací v oblasti optických struktur a senzoriky - vývoj MOCVD aparatury pro epitaxní růst A(III)B(V) vrstev na substrátech do průměru 250 mm - testování růstu MOCVD epitaxních vrstev A(III)B(V) na substrátech do průměru 250 mm s cílem optimalizace konstrukce MOCVD reaktoru
Scientific branches
R&D category
VV - Exeperimental development
CEP classification - main branch
BM - Solid-state physics and magnetism
CEP - secondary branch
BJ - Thermodynamics
CEP - another secondary branch
JA - Electronics and optoelectronics
OECD FORD - equivalent branches <br>(according to the <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">converter</a>)
10302 - Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.)<br>20201 - Electrical and electronic engineering<br>20303 - Thermodynamics
Completed project evaluation
Provider evaluation
U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)
Project results evaluation
After reviewing the results of the project solution and the opponents' opinions, the opponent commission agreed that the project objectives and the project results were achieved in accordance with the Grant Agreement, therefore it can be stated that the project succeeded according to the assignment.
Solution timeline
Realization period - beginning
Jan 1, 2017
Realization period - end
Dec 31, 2019
Project status
U - Finished project
Latest support payment
Feb 28, 2019
Data delivery to CEP
Confidentiality
C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.
Data delivery code
CEP20-TA0-TH-U/10:1
Data delivery date
May 12, 2021
Finance
Total approved costs
35,026 thou. CZK
Public financial support
20,987 thou. CZK
Other public sources
0 thou. CZK
Non public and foreign sources
15,375 thou. CZK