Batch Atomic Layer Deposition (ALD) system for advanced material applications
Public support
Provider
Technology Agency of the Czech Republic
Programme
—
Call for proposals
—
Main participants
SVCS Process Innovation s.r.o.
Contest type
VZ - Public procurement
Contract ID
2025TQ26000039
Alternative language
Project name in Czech
Zařízení pro dávkové ALD procesy
Annotation in Czech
SMART definice: S - Cílem projektu je ve spolupráci s korejským partnerem - společností ISAC Research, Inc. vyvinout průmyslová zařízení pro dávkové nanášení vrstev metodou ALD, včetně automatizace. M - Vyvinutá zařízení budou schopna nanášet vrstvy na minimálně 25 ks substrátů o průměru minimálně 200 mm současně v kvalitě srovnatelné se standardním jednodeskovým ALD reaktorem. A - V průběhu tří let budou zkonstruována a testována 2 zařízení, jedno pro 200 mm substráty (minimálně 50 ks desek) a druhé pro desky o průměru 300 mm (minimálně 25 ks). R - Cíl je ambiciózní vzhledem k tomu, že společnost SVCS zatím nikdy nevyráběla reaktory pro 300 mm substráty, ale realistický (má potřebné znalosti a zkušenosti). T - Termínově budou design a konstrukce obou reaktorů časově posunuté o rok.
Scientific branches
R&D category
AP - Applied research
OECD FORD - main branch
10301 - Atomic, molecular and chemical physics (physics of atoms and molecules including collision, interaction with radiation, magnetic resonances, Mössbauer effect)
OECD FORD - secondary branch
10403 - Physical chemistry
OECD FORD - another secondary branch
20303 - Thermodynamics
CEP - equivalent branches <br>(according to the <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">converter</a>)
BE - Theoretical physics<br>BJ - Thermodynamics<br>CF - Physical chemistry and theoretical chemistry
Solution timeline
Realization period - beginning
Jan 1, 2026
Realization period - end
Dec 31, 2028
Project status
Z - Beginning multi-year project
Latest support payment
—
Data delivery to CEP
Confidentiality
C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.
Data delivery code
CEP26-TA0-TQ-R
Data delivery date
May 29, 2026
Finance
Total approved costs
30,392 thou. CZK
Public financial support
19,995 thou. CZK
Other public sources
0 thou. CZK
Non public and foreign sources
10,396 thou. CZK