Realization of layered systems with required spectral dependencies of reflectance and transmittance in the middle ultraviolet spectral range
Project goals
Main aims of submitted project are the following: 1. Total optical characterization of single coating layers used in multilayer systems, that means coating layers of Al2O3, MgF2, HfO2 and SiO2 materials. 2. Development of antireflection coatings on glass substrates with required values of transmittance for wavelengths 213 nm and 248 nm and for normal angle of incidence. Fabrication of samples on the basis of design and optical characterization of these samples. Modification of technological conditions of coating and production of optimized samples. Control of achieved optimization through measurement of spectral dependence of reflectance and transmittance. 3. Development of mirrors with high reflectance on glass substrates with required average reflectance values for wavelengths 248 nm and 213 nm and for 45°angle of incidence. Fabrication of samples on the basis of designs together with optical characterization. Modification of technological conditions of coating and production of optimized samples. Control of achieved optimization through measurement of spectral dependence of reflectance. 4. Development of beam splitter on glass substrates with required p-value of transmittance or for average transmittance for wavelength 248 nm and with required s-value of reflectance for wavelengths 630 nm – 670 nm and for 45°angle of incidence. Fabrication of samples on the basis of design together with optical characterization. Modification of technological conditions of coating and production of optimized samples. Control of achieved optimization through measurement of spectral dependence of reflectance and transmittance. 5. Measurement of internal tensile stress and parameters to characterize mechanical properties of coating layers and multi-layer systems for assessment of lifetime joint with control of surface uniformity of their optical parameters.
Keywords
Design and optical characterization of multi-layer systems- antireflection coatingshigh reflectance mirrorsbeam splitters- improvement of technological processes- realization of optimized mirrorsbeam splitters and antireflection coatings
Public support
Provider
Ministry of Industry and Trade
Programme
TRIO
Call for proposals
TRIO 4 (SMPO201900001)
Main participants
Meopta - optika, s.r.o.
Contest type
VS - Public tender
Contract ID
2019FV40328
Alternative language
Project name in Czech
Realizace vrstevnatých systémů s požadovanými spektrálními závislostmi odrazivosti a propustnosti ve střední ultrafialové oblasti spektra
Annotation in Czech
Hlavní cíle předkládaného projektu jsou: 1. Úplná optická charakterizace jednoduchých (single) vrstev používaných ve vrstevnatých systémech, tj. vrstev Al2O3, MgF2, HfO2 a SiO2. 2. Vývoj antireflexních pokrytí na skleněných podložkách při kolmém dopadu světla s požadovanými hodnotami propustnosti ve vlnových délkách 213 nm a 248 nm. Výroba vzorků na základě návrhů a optická charakterizace těchto vzorků. Úprava technologických podmínek přípravy vrstev a výroba optimalizovaných vzorků. Kontrola dosažení optimalizace prostřednictvím měření spektrálních závislostí odrazivosti a propustnosti. 3. Vývoj zrcadel s vysokou odrazivostí na skleněných podložkách při úhlu dopadu 45 stupňů s požadovanými hodnotami průměrné odrazivosti pro vlnové délky 248 nm a 213 nm. Výroba vzorků na základě návrhů spolu s optickou charakterizací. Úprava technologických podmínek přípravy vrstev a výroba optimalizovaných vzorků. Kontrola optimalizace prostřednictvím měření spektrálních závislostí odrazivosti. 4. Vývoj děličů světelných svazků na skleněných podložkách při úhlu dopadu 45 stupňů s požadovanými hodnotami pro p-složku propustnosti nebo pro průměrnou propustnost ve vlnové délce 248 nm a s požadovanými hodnotami pro s-složku odrazivosti pro vlnové délky 630 nm – 670 nm. Výroba vzorků na základě návrhů spolu s optickou charakterizací. Úprava technologických podmínek přípravy vrstev a výroba optimalizovaných vzorků. Kontrola dosažení optimalizace prostřednictvím měření spektrálních závislostí odrazivosti a propustnosti. 5. Měření vnitřního napětí a parametrů charakterizujících mechanické vlastnosti vrstev a vrstevnatých systémů pro posouzení jejich životnosti spolu s kontrolou plošné uniformity jejich optických parametrů.
Scientific branches
R&D category
AP - Applied research
OECD FORD - main branch
10306 - Optics (including laser optics and quantum optics)
OECD FORD - secondary branch
20501 - Materials engineering
OECD FORD - another secondary branch
—
BH - Optics, masers and lasers
JG - Metallurgy, metal materials
JP - Industrial processes and processing
Completed project evaluation
Provider evaluation
V - Vynikající výsledky projektu (s mezinárodním významem atd.)
Project results evaluation
The project achieved the set objectives and outputs of the project related to the creation of the technology of production of Al2O3, MgF2, SiO2 and HfO2 layers, the technology of production of antireflective layers with high transmittance and high reflectivity at wavelengths of 213 nm and 248 nm, the technology of production of separating layers at the wavelength of 248 nm.
Solution timeline
Realization period - beginning
May 1, 2019
Realization period - end
Dec 31, 2022
Project status
U - Finished project
Latest support payment
Mar 23, 2021
Data delivery to CEP
Confidentiality
C - Předmět řešení projektu podléhá obchodnímu tajemství (§ 504 Občanského zákoníku), ale název projektu, cíle projektu a u ukončeného nebo zastaveného projektu zhodnocení výsledku řešení projektu (údaje P03, P04, P15, P19, P29, PN8) dodané do CEP, jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné.
Data delivery code
CEP23-MPO-FV-U
Data delivery date
May 15, 2024
Finance
Total approved costs
28,726 thou. CZK
Public financial support
18,289 thou. CZK
Other public sources
0 thou. CZK
Non public and foreign sources
10,437 thou. CZK
Basic information
Recognised costs
28 726 CZK thou.
Public support
18 289 CZK thou.
63%
Provider
Ministry of Industry and Trade
OECD FORD
Optics (including laser optics and quantum optics)
Solution period
01. 05. 2019 - 31. 12. 2022