Laser photochemistry of (chloromethyl)silane and silacyclo-pent-3-ene for chemical vapour deposition of Si/C/H and Si/H phases
Public support
Provider
Czech Science Foundation
Programme
Standard projects
Call for proposals
Standardní projekty 1 (SGA02002GA-ST)
Main participants
Ústav chemických procesů AV ČR, v. v. i.
Contest type
VS - Public tender
Contract ID
—
Alternative language
Project name in Czech
Laserová fotochemie chlormetylsilanu a silacyklopent-3-enu pro chemickou deposici Si/C/H a Si/H fází z plynné fáze
Annotation in Czech
Výzkum se bude zabývat rozkladem chlormetylsilanu a 3-silacyklopentenu iniciovaným zářením IČ laseru jako infračervený mnohafotonový rozklad a fotosenzibilovaný (SF6) rozklad.Chemické reakce probíhající v plynné fázi budou studovány ve spojitosti s vlastnostmi pevných filmů deponovaných z plynné fáze na různé substráty.Lze očekávat, že výše uvedené procesy budou probíhat reakčními cestami, které nelze uskutečnit v konvenční tepelné chemii a že získané deposity budou mít slibné vlastnosti (optický přechod, morfologie, stechiometrie), které je budou kvalifikovat pro použití v mikroelektronice.IČ laserově iniciované rozklady budou studovány při různých podmínkách (tlak, dávka záření, vliv inertního plynu) a to dovolí zjistit závislost průběhu rozkladů natěchto podmínkách a optimalizovat oba procesy pro chemickou deposici matriálů o požadovaných vlastnostech.
Scientific branches
R&D category
—
CEP classification - main branch
CH - Nuclear and quantum chemistry, photo chemistry
CEP - secondary branch
CA - Inorganic chemistry
CEP - another secondary branch
CF - Physical chemistry and theoretical chemistry
OECD FORD - equivalent branches <br>(according to the <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">converter</a>)
10402 - Inorganic and nuclear chemistry<br>10403 - Physical chemistry
Completed project evaluation
Provider evaluation
U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)
Project results evaluation
Experimentálně náročný výzkum vyžadující špičkovou instrumentální techniku, byl zaměřen na objasnění mechanismu a charakteristiku různých plynných produktů, meziproduktů i finálních deponovaných tenkých organokřemičitých vrstev při laserové pyrolýze či k
Solution timeline
Realization period - beginning
Jan 1, 2000
Realization period - end
Jan 1, 2001
Project status
U - Finished project
Latest support payment
—
Data delivery to CEP
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data delivery code
CEP/2002/GA0/GA02GA/U/N/7:3
Data delivery date
Apr 1, 2003
Finance
Total approved costs
1,995 thou. CZK
Public financial support
1,236 thou. CZK
Other public sources
1,382 thou. CZK
Non public and foreign sources
0 thou. CZK