Silicon nanowires for three-dimensional nanoelectronics
Public support
Provider
Czech Science Foundation
Programme
Standard projects
Call for proposals
Standardní projekty 20 (SGA0201600001)
Main participants
Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
Contest type
VS - Public tender
Contract ID
16-12355S
Alternative language
Project name in Czech
Křemíkové nanodrátky pro třídimenzionální nanoelektroniku
Annotation in Czech
Křemíkové nanodrátky jsou nanometrové stavební jednotky s celou řadou jedinečných vlastností. Díky nim se očekává, že nanodrátky budou důležitými součástkami v budoucí nanoelektronice. Tento projekt má za cíl vyvinout nový způsob přípravy samouspořádaných/orientovaných nanodrátků při nízkých teplotách na křemíkových a jiných substrátech. Pro tyto účely plánujeme zkoumat nové katalytické kovy a růstové režimy při syntéze křemíkových nanodrátků pomocí plazmochemické depozice z plynné fáze (PECVD), abychom dosáhli kontrolované nukleace, růstu a orientace nanodrátků. Pomocí systematického studia růstových parametrů a jejich vlivu na termodynamiku růstu a výsledných fyzikálních vlastností nanodrátků chceme docílit základního pochopení růstového mechanismu. Očekáváme, že při dosažení kontrolovaného růstu křemíkových nanodrátků bude možno pomocí litografických metod vytvořit funkční třídimenzionální struktury, které mohou najít uplatnění v budoucích tranzistorech, senzorech a optoelektronických zařízeních.
Scientific branches
R&D category
ZV - Basic research
CEP classification - main branch
BM - Solid-state physics and magnetism
CEP - secondary branch
BL - Plasma physics and discharge through gases
CEP - another secondary branch
JA - Electronics and optoelectronics
OECD FORD - equivalent branches <br>(according to the <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">converter</a>)
10302 - Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.)<br>10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)<br>20201 - Electrical and electronic engineering
Completed project evaluation
Provider evaluation
U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)
Project results evaluation
Klíčové cíle projektu byly naplněny. Jediná část projektu, jejíž řešení nebylo úspěšné je spojena s přípravou opticky aktivních nanodrátů křemíku. Panel oceňuje článek publikovaný v časopise Nanotechnology, ve kterém jsou diskutovány růstové mechanismy PECVD nanodrátů křemíku. Potenciál řešitelského týmu nebyl plně využit.
Solution timeline
Realization period - beginning
Jan 1, 2016
Realization period - end
Jul 22, 2020
Project status
U - Finished project
Latest support payment
Apr 26, 2018
Data delivery to CEP
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data delivery code
CEP21-GA0-GA-U/01:1
Data delivery date
Apr 12, 2021
Finance
Total approved costs
6,446 thou. CZK
Public financial support
5,996 thou. CZK
Other public sources
439 thou. CZK
Non public and foreign sources
0 thou. CZK