Acquisition of image in the low energy scanning electron microscope via detection of the angular distribution of signal electrons
Public support
Provider
Czech Science Foundation
Programme
Standard projects
Call for proposals
Standardní projekty 2 (SGA02003GA-ST)
Main participants
Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
Contest type
VS - Public tender
Contract ID
—
Alternative language
Project name in Czech
Tvorba obrazu v nízkoenergiovém rastrovacím elektronovém mikroskopu prostřednictvím snímání úhlového rozdělení signálních elektronů
Annotation in Czech
Cílem projektu je využít principu detekce úhlového rozdělení signálních elektronů v nízkoenergiovém rastrovacím elektronovém mikroskopu plošným polovodičovým obrazovým detektorem ke studiu povrchů krystalických preparátů a k vysoce přesnému lokálnímuměření tloušťky velmi tenkých povrchových vrstev. Pro dosažení tohoto cíle se navrhuje použít koncepci mikroskopu s relativně vysokoenergiovým zdrojem elektronů, jejichž energie je snížena na velmi nízkou hodnotu v elektrostatickém poli katodové čočkytěsně nad povrchem preparátu. Pro praktickou realizaci navrhujeme adaptovat ultravakuovou aparaturu zkonstruovanou speciálně pro studium povrchů pevných materiálů. Navrhujeme doplnit tuto aparaturu separátorem primáního a signálního svazku elektronůvlastní originální konstrukce a mnohokanálovým detektorem signálních elektronů vlastní konstrukce. Jádrem detektoru je ztenčený zpětně osvětlovaný přímo elektrony bombardovaný CCD snímač, který dosahuje vysokého zesílení již pro energie dopadajících
Scientific branches
R&D category
ZV - Basic research
CEP classification - main branch
BM - Solid-state physics and magnetism
CEP - secondary branch
JA - Electronics and optoelectronics
CEP - another secondary branch
JB - Sensors, detecting elements, measurement and regulation
OECD FORD - equivalent branches <br>(according to the <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">converter</a>)
10302 - Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.)<br>20201 - Electrical and electronic engineering
Completed project evaluation
Provider evaluation
U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)
Project results evaluation
Electron-optical system of a very low energy scanning electron microscope was designed and constructed. The microscope uses unique properties of a cathode lens to achieve the lowest landing energy. The landing energy follows from the difference of the ca
Solution timeline
Realization period - beginning
Jan 1, 2003
Realization period - end
Jan 1, 2005
Project status
U - Finished project
Latest support payment
—
Data delivery to CEP
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data delivery code
CEP06-GA0-GA-U/07:6
Data delivery date
Jan 15, 2009
Finance
Total approved costs
1,597 thou. CZK
Public financial support
1,597 thou. CZK
Other public sources
0 thou. CZK
Non public and foreign sources
0 thou. CZK