All

What are you looking for?

All
Projects
Results
Organizations

Quick search

  • Projects supported by TA ČR
  • Excellent projects
  • Projects with the highest public support
  • Current projects

Smart search

  • That is how I find a specific +word
  • That is how I leave the -word out of the results
  • “That is how I can find the whole phrase”

Investigation of new low temperature atmospheric pressure plasma sources for deposition of thin films

Public support

  • Provider

    Czech Science Foundation

  • Programme

    Standard projects

  • Call for proposals

    Standardní projekty 8 (SGA02005GA-ST)

  • Main participants

  • Contest type

    VS - Public tender

  • Contract ID

    202/05/2242

Alternative language

  • Project name in Czech

    Studium nových nízkoteplotních plazmatických zdrojů pracujících za atmosférického tlaku z hlediska jejich využití pro depozice tenkých vrstev

  • Annotation in Czech

    Navrhovaný projekt bude zaměřen na výzkum a vývoj nových ekologických plazmatických technologií depozice tenkých vrstev při udržení nízkých teplot substrátu T < 80 st C. Vyvíjeny budou různé systémy s proudícími plazmovými kanály pracujících za atmosférického tlaku. Přestože výzkum a vývoj je v poslední době intenzivně zaměřen v tomto směru, problém těchto technologií nebyl dosud uspokojivě zvládnut. Pozornost bude zaměřena na tenké vrstvy speciálních oxidů deponovaných na různě tepelně senzitivní substráty. Konkrétně půjde především o TiOx, SiOx případně AbOx vrstvy, vhodné jako ochranné, tribologické a fotokatalitické vrstvy žádané pro různé průmyslové aplikace. Měření rozložení proudění u vyústění trysky a v blízkosti substrátu a vlastností plazmatupřímo při depozici spolu se studiem parametrů vrstev bude využito k optimalizaci depozičního procesu.

Scientific branches

  • R&D category

    ZV - Basic research

  • CEP classification - main branch

    BL - Plasma physics and discharge through gases

  • CEP - secondary branch

  • CEP - another secondary branch

  • OECD FORD - equivalent branches <br>(according to the <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">converter</a>)

    10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)

Completed project evaluation

  • Provider evaluation

    U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)

  • Project results evaluation

    Low-temperature high-pressure plasma systems were investigated and optimized - atmospheric barrier-torch discharge, microwave surfatron with plasma flow and planar dielectric barrier discharge. The advantage of the atmospheric plasma torch was to deposit

Solution timeline

  • Realization period - beginning

    Jan 1, 2005

  • Realization period - end

    Dec 31, 2007

  • Project status

    U - Finished project

  • Latest support payment

    May 2, 2007

Data delivery to CEP

  • Confidentiality

    S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

  • Data delivery code

    CEP08-GA0-GA-U/04:3

  • Data delivery date

    Dec 16, 2008

Finance

  • Total approved costs

    2,430 thou. CZK

  • Public financial support

    1,890 thou. CZK

  • Other public sources

    810 thou. CZK

  • Non public and foreign sources

    0 thou. CZK