Investigation of new low temperature atmospheric pressure plasma sources for deposition of thin films
Public support
Provider
Czech Science Foundation
Programme
Standard projects
Call for proposals
Standardní projekty 8 (SGA02005GA-ST)
Main participants
—
Contest type
VS - Public tender
Contract ID
202/05/2242
Alternative language
Project name in Czech
Studium nových nízkoteplotních plazmatických zdrojů pracujících za atmosférického tlaku z hlediska jejich využití pro depozice tenkých vrstev
Annotation in Czech
Navrhovaný projekt bude zaměřen na výzkum a vývoj nových ekologických plazmatických technologií depozice tenkých vrstev při udržení nízkých teplot substrátu T < 80 st C. Vyvíjeny budou různé systémy s proudícími plazmovými kanály pracujících za atmosférického tlaku. Přestože výzkum a vývoj je v poslední době intenzivně zaměřen v tomto směru, problém těchto technologií nebyl dosud uspokojivě zvládnut. Pozornost bude zaměřena na tenké vrstvy speciálních oxidů deponovaných na různě tepelně senzitivní substráty. Konkrétně půjde především o TiOx, SiOx případně AbOx vrstvy, vhodné jako ochranné, tribologické a fotokatalitické vrstvy žádané pro různé průmyslové aplikace. Měření rozložení proudění u vyústění trysky a v blízkosti substrátu a vlastností plazmatupřímo při depozici spolu se studiem parametrů vrstev bude využito k optimalizaci depozičního procesu.
Scientific branches
R&D category
ZV - Basic research
CEP classification - main branch
BL - Plasma physics and discharge through gases
CEP - secondary branch
—
CEP - another secondary branch
—
OECD FORD - equivalent branches <br>(according to the <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">converter</a>)
10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)
Completed project evaluation
Provider evaluation
U - Uspěl podle zadání (s publikovanými či patentovanými výsledky atd.)
Project results evaluation
Low-temperature high-pressure plasma systems were investigated and optimized - atmospheric barrier-torch discharge, microwave surfatron with plasma flow and planar dielectric barrier discharge. The advantage of the atmospheric plasma torch was to deposit
Solution timeline
Realization period - beginning
Jan 1, 2005
Realization period - end
Dec 31, 2007
Project status
U - Finished project
Latest support payment
May 2, 2007
Data delivery to CEP
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data delivery code
CEP08-GA0-GA-U/04:3
Data delivery date
Dec 16, 2008
Finance
Total approved costs
2,430 thou. CZK
Public financial support
1,890 thou. CZK
Other public sources
810 thou. CZK
Non public and foreign sources
0 thou. CZK