Study of combined PLD with r.f. discharges for improvement of optic layers properties
Public support
Provider
Czech Science Foundation
Programme
Post-graduate (doctorate) grants
Call for proposals
Postdoktorandské granty 2 (SGA02002GA-PD)
Main participants
Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.
Contest type
VS - Public tender
Contract ID
—
Alternative language
Project name in Czech
Vliv kombinace pulsní laserové depozice a r.f. výbojů na vlastnosti optických vrstev
Annotation in Czech
Předkládaný projekt si klade za cíl systematické studium vlivu kombinace laserové pulsní depozice (PLD) a r.f. výbojů na kvalitu tenkých optických vrstev. Bude analyzováno plazma PLD a vysokofrekvenčního r.f. výboje (s různou vazbou - kapacitní ainduktivní), konfigurací elektrod (planární elektrody, dutá katoda) a s různým složení pracovních plynů a tlaků. Bude aplikována emisní a absorpční optické spektroskopie, CCD kamera a Langmuirovské sondy. Jedním z cílů je určení vztahu mezi parametryPLD, r.f. přídavných výbojů a vlastnostmi připravených optických vrstev. Pozornost bude zaměřena zejména na vlnovodové vrstvy Ti:safíru, YAG-u, YAP-u s různou dopací Nd a Er:Yb, na feroelektrické vrstvy PLZT a PZT s různými mezivrstvami deponovanými naamorfních substrátech a v neposlední řadě na diamantu podobné vrstvy deponované s přídavnými výboji (r.f. a dutá katoda). Pozornost bude věnována vlivu parametrů PLD a r.f. výbojů na zlepšení krystalinity, hustoty, adheze a morfologie připravovaných
Scientific branches
R&D category
ZV - Basic research
CEP classification - main branch
BL - Plasma physics and discharge through gases
CEP - secondary branch
JJ - Other materials
CEP - another secondary branch
BH - Optics, masers and lasers
OECD FORD - equivalent branches <br>(according to the <a href="http://www.vyzkum.cz/storage/att/E6EF7938F0E854BAE520AC119FB22E8D/Prevodnik_oboru_Frascati.pdf">converter</a>)
10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)<br>10306 - Optics (including laser optics and quantum optics)<br>20502 - Paper and wood<br>20503 - Textiles; including synthetic dyes, colours, fibres (nanoscale materials to be 2.10; biomaterials to be 2.9)<br>21001 - Nano-materials (production and properties)<br>21002 - Nano-processes (applications on nano-scale); (biomaterials to be 2.9)
Completed project evaluation
Provider evaluation
V - Vynikající výsledky projektu (s mezinárodním významem atd.)
Project results evaluation
The attention was paid to fabrication either to the hard coatings such as carbon nitride and nanocrystalline diamond films or to the thin active and passive waveguides of ZnO, Nd:KGW and GGG doped by Pr3+ or Yb3+ ions. The effect of additional r.f. disc
Solution timeline
Realization period - beginning
Jan 1, 2001
Realization period - end
Jan 1, 2004
Project status
U - Finished project
Latest support payment
—
Data delivery to CEP
Confidentiality
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Data delivery code
CEP/2005/GA0/GA05GP/U/N/A:8
Data delivery date
Jul 23, 2008
Finance
Total approved costs
1,092 thou. CZK
Public financial support
612 thou. CZK
Other public sources
563 thou. CZK
Non public and foreign sources
0 thou. CZK